恭喜上海馨欧集成微电有限公司吴进波获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海馨欧集成微电有限公司申请的专利一种声波谐振器、声波滤波器及声波滤波器模组获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119171862B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410168927.X,技术领域涉及:H03H9/17;该发明授权一种声波谐振器、声波滤波器及声波滤波器模组是由吴进波设计研发完成,并于2024-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种声波谐振器、声波滤波器及声波滤波器模组在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体技术领域,尤其涉及一种声波谐振器、声波滤波器及声波滤波器模组。声波谐振器至少包括:压电薄膜和叉指电极;以压电薄膜内的预设晶轴为第一参考轴,叉指电极对的法向为第二参考轴,第一参考轴与第二参考轴之间具有预设夹角;叉指电极中的第一间隙轨迹的平均切向与第二间隙轨迹的平均切向满足预设条件。通过改变声波面内声波传播方向,以实现对声波谐振器机电耦合系数的调节。而且,通过设计第一间隙轨迹切向角和第二间隙轨迹切向角,在改变声波谐振器机电耦合系数的同时,避免过大能流入射角造成的能量泄露。因而可以在同一种压电薄膜上实现不同机电耦合系数的声波谐振器,继而实现具有不同相对带宽的声波滤波器。
本发明授权一种声波谐振器、声波滤波器及声波滤波器模组在权利要求书中公布了:1.一种声波谐振器,其特征在于,包括:压电薄膜以及设置在所述压电薄膜第一表面的顶电极; 所述顶电极包括第一指状电极和第二指状电极; 所述第一指状电极包括预设数量的第一电极指条和第一假指电极,所述第一电极指条与所述第一假指电极间隔设置; 所述第二指状电极包括预设数量的第二电极指条和第二假指电极,所述第二电极指条与所述第二假指电极间隔设置; 所述第一电极指条与所述第二电极指条交叉设置,且相邻所述第一电极指条与所述第二电极指条形成叉指电极对; 所述第一电极指条与所述第二假指电极相对设置,且所述第一电极指条与所述第二假指电极之间形成有第一间隙轨迹; 所述第二电极指条与所述第一假指电极相对设置,且所述第二电极指条与所述第一假指电极之间形成有第二间隙轨迹; 以所述压电薄膜内的预设晶轴为第一参考轴,所述叉指电极对的法向为第二参考轴,所述第一参考轴与所述第二参考轴之间具有预设夹角; 所述第一间隙轨迹的平均切向,与所述第二参考轴之间夹角为第一间隙轨迹切向角,所述第二间隙轨迹的平均切向,与所述第二参考轴之间夹角为第二间隙轨迹切向角,所述第一间隙轨迹切向角与所述第二间隙轨迹切向角满足预设条件;以所述第二参考轴与所述声波谐振器的声波能流方向之间的夹角为参考能流角,所述预设条件为所述第一间隙轨迹切向角和所述第二间隙轨迹切向角与所述参考能流角的差值的绝对值均不超过15度。
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