恭喜上海至纯系统集成有限公司古智扬获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海至纯系统集成有限公司申请的专利一种用于半导体研磨液的供应设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222971910U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421575774.2，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型一种用于半导体研磨液的供应设备是由古智扬;马东;滕翠兄;单春健;冯明设计研发完成，并于2024-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体研磨液的供应设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及化学机械研磨技术领域，公开了一种用于半导体研磨液的供应设备，包括主供液管，所述主供液管的一端设有U型的分供液管一，所述分供液管一一侧的横管设有气动阀一，所述分供液管一另一侧的横管设有气动阀二，所述分供液管一的两端设有U型的分供液管二，所述分供液管二的中部设有排液管，所述主供液管的表面设有冲洗管；本实用新型通过设置的U型的分供液管一和分供液管二实现双供液管路，并且配合气动阀一和气动阀二，能够自动切换管路确保不影响供液，在管路发生异常时不需要停机；并且通过设置的冲洗管配置添加洁净水再切换后自动清洗设计避免出现研磨液沉积结块问题。
本实用新型一种用于半导体研磨液的供应设备在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体研磨液的供应设备，包括主供液管1，其特征在于，所述主供液管1的一端设有U型的分供液管一2，所述分供液管一2一侧的横管设有气动阀一201，所述分供液管一2另一侧的横管设有气动阀二202，所述分供液管一2的两端设有U型的分供液管二3，所述分供液管二3的中部设有排液管5，所述主供液管1的表面设有冲洗管6。
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