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龙图腾网恭喜东莞市元立光电股份有限公司申请的专利一种ARVR树脂晶圆工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119804837B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510295308.1，技术领域涉及：G01N33/44；该发明授权一种ARVR树脂晶圆工艺是由黄爱群;刘鹏;钟召民设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种ARVR树脂晶圆工艺在说明书摘要公布了：本发明公开一种ARVR树脂晶圆工艺，包括：制备待测树脂晶圆和基准试片，对待测树脂晶圆的微纳结构区域进行定位标记，得到检测样本；对检测样本和基准试片进行多维光谱表征，通过对比分析确定检测样本的材料不均匀分布区，并得到分子结构表征数据；对材料不均匀分布区进行应力场检测和动态响应分析，得到力学特性表征数据和高危缺陷点；对高危缺陷点进行微观结构和形貌分析，得到缺陷特征数据；根据分子结构表征数据、力学特性表征数据和缺陷特征数据进行系统评估，得到树脂晶圆的健康度评定结果。本发明技术方案能够对ARVR用树脂晶圆中的微纳结构区域进行多尺度特征表征，实现了对材料分子态、界面应力和相变等特征的系统检测。

本发明授权一种ARVR树脂晶圆工艺在权利要求书中公布了：1.一种ARVR树脂晶圆工艺，其特征在于，包括： 制备待测树脂晶圆和基准试片，对所述待测树脂晶圆的微纳结构区域进行定位标记，得到检测样本； 对所述检测样本和所述基准试片进行多维光谱表征，通过对比分析确定所述检测样本的材料不均匀分布区，并得到分子结构表征数据；具体包括：对所述检测样本进行拉曼光谱检测和红外光谱检测，获得第一光谱数据；对所述检测样本进行荧光寿命检测和光学各向异性检测，获得第二光谱数据；具体包括：对所述检测样本施加不同角度的探测光，获得多角度荧光衰减曲线，根据所述荧光衰减曲线计算分子取向角分布，得到分子链取向状态图；在不同入射角度下对所述检测样本进行偏振态测量，获得偏振度分布图，根据所述偏振度分布图计算界面应力诱导双折射值，得到应力-光学耦合系数；对所述检测样本的波导层进行扫描，获得局部折射率起伏图，根据所述折射率起伏图和所述应力-光学耦合系数计算光程差分布，得到相位延迟数据；对所述检测样本不同视场角度进行透射率测量，获得角度依赖透过率曲线，根据所述角度依赖透过率曲线和所述相位延迟数据计算光学均匀性指数；将所述分子链取向状态图、应力-光学耦合系数、相位延迟数据和光学均匀性指数进行关联分析，得到第二光谱数据；对所述基准试片进行拉曼光谱检测、红外光谱检测、荧光寿命检测和光学各向异性检测，获得对照光谱数据；将所述第一光谱数据和所述第二光谱数据分别与所述对照光谱数据进行对比分析，确定材料不均匀分布区的位置坐标和分子结构表征数据； 对所述材料不均匀分布区进行应力场检测和动态响应分析，得到力学特性表征数据和高危缺陷点；具体包括：对所述材料不均匀分布区进行偏振光弹检测，获得应力分布图；对所述应力分布图中的应力集中点进行局部力学检测，获得微区力学数据；对所述应力集中点施加循环应力和温度变化，获得动态响应特征；具体包括：根据ARVR佩戴姿态模拟，获得多向应力加载谱，对所述应力集中点施加所述多向应力加载谱，得到多维应力响应曲线；根据ARVR实际使用工况，建立温度-湿度联合作用周期，对所述应力集中点施加所述温度-湿度联合作用周期，获得环境响应曲线；对所述多维应力响应曲线进行傅里叶分析，获得应力谱密度函数，根据所述应力谱密度函数计算累积损伤率；将所述环境响应曲线按照不同功能区域进行分段处理，获得区域敏感性系数，根据所述区域敏感性系数确定临界失效区域；根据所述累积损伤率和所述临界失效区域的对应关系，得到动态响应特征；根据所述动态响应特征进行疲劳特性分析，得到疲劳特征数据；将所述微区力学数据和所述疲劳特征数据进行整合分析，得到力学特性表征数据；根据所述力学特性表征数据判定所述应力集中点中的高危缺陷点； 对所述高危缺陷点进行微观结构和形貌分析，得到缺陷特征数据；具体包括：对所述高危缺陷点进行超声波检测，分析是否存在空洞、剥离或裂纹，获得超声成像信号；根据所述超声成像信号中的异常回波位置，对所述高危缺陷点进行精确切割，获得纳米级薄片样品；对所述纳米级薄片样品进行界面形貌分析，获得材料界面结构数据；对所述高危缺陷点进行近场光学检测，获得折射率梯度和双折射分布数据；具体包括：在不同视场角下对所述高危缺陷点进行扫描成像，获得点扩散函数随角度的变化曲线，根据所述变化曲线计算成像质量衰减系数；对所述高危缺陷点周围的波导结构进行光场分布测量，获得近场光强分布图，根据所述光强分布图分析光传导损耗特性；根据所述成像质量衰减系数建立缺陷影响半径，在所述影响半径范围内进行折射率精细扫描，得到高分辨率折射率梯度图；对所述高分辨率折射率梯度图进行小波变换分析，提取局部特征频率，根据所述特征频率计算光学异常指数；将所述光传导损耗特性与所述光学异常指数进行综合评估，得到折射率梯度和双折射分布数据；根据所述材料界面结构数据、所述折射率梯度和双折射分布数据，得到缺陷特征数据； 根据所述分子结构表征数据、力学特性表征数据和缺陷特征数据进行系统评估，得到树脂晶圆的健康度评定结果。

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