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龙图腾网恭喜上海中科飞测半导体科技有限公司申请的专利暗场晶圆检测设备及其光学标定系统和光学标定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119804492B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510295267.6，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权暗场晶圆检测设备及其光学标定系统和光学标定方法是由陈鲁;秦爽;陶陶;黄有为设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本暗场晶圆检测设备及其光学标定系统和光学标定方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种暗场晶圆检测设备及其光学标定系统和光学标定方法，涉及晶圆检测设备技术领域，在成像系统的出光侧设置有光瞳，光瞳位于成像系统的光瞳面，标定检测模块可以基于光瞳面获取标定图像，可以根据经过散射场之后的检测光进行成像。本申请中，在成像系统的光瞳面位置，散射光会发生空间分离，标定检测模块可以对系统光瞳面进行成像，进而可以获取光瞳面的强度分布图。本申请可以通过检偏模块控制检偏条件，基于所获取的标定图像，可以对待测照明光路相对于散射场的偏振透过率进行准确的测量和标定。

本发明授权暗场晶圆检测设备及其光学标定系统和光学标定方法在权利要求书中公布了：1.一种光学标定系统，其特征在于，所述光学标定系统用于暗场晶圆检测设备，所述光学标定系统包括： 照明系统，所述照明系统用于提供初始照明光束； 起偏模块，所述起偏模块用于对所述初始照明光束施加偏振调制，以形成偏振照明光束； 成像系统，所述成像系统用于收集经过目标件散射之后的所述偏振照明光束，以形成检测光； 检偏模块，所述检偏模块用于对所述检测光进行偏振筛选； 光瞳，所述光瞳位于所述检偏模块的出光侧，且位于所述成像系统的光瞳面； 标定检测模块，所述标定检测模块用于采集通过所述光瞳的检测光，以形成标定图像；所述标定图像至少能够表征所述偏振照明光束经过散射之后的偏振透过率； 所述暗场晶圆检测设备具有晶圆检测模式以及偏振透过率标定模式；所述标定检测模块包括：切入式反射镜、光瞳成像镜以及第一相机；其中，所述切入式反射镜可活动的置于所述光学标定系统中；所述切入式反射镜用于在所述偏振透过率标定模式置于所述光瞳的出光侧，以将通过所述光瞳的所述检测光反射至所述光瞳成像镜；所述光瞳成像镜用于将采集的所述检测光成像至第一相机的靶面位置；所述第一相机用于基于入射的所述检测光形成所述标定图像。

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