买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜清软微视(杭州)科技有限公司申请的专利一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119781146B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510279297.8，技术领域涉及：G02B13/00；该发明授权一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头是由陈仕江;周继乐;张凌民;徐志华设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头，包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组和第四透镜组，所述第一透镜组包括按照光线射入方向顺序设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，所述第一透镜组中各透镜的光焦度依次为：第一透镜的光焦度为正、第二透镜的光焦度为负、第三透镜的光焦度为负、第四透镜的光焦度为负，所述第一透镜组整体呈现出的光焦度为负。本申请通过将四个透镜组分别光焦度为负、正、正、正，每个透镜组又分别由多个透镜组成，光线在通过不同介质的交界面时会发生折射现象，即光线的传播方向发生改变。物镜镜头利用折射原理，通过透镜的曲率改变光线的传播方向，实现聚焦或发散。

本发明授权一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头，其特征在于，包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组和第四透镜组，所述第一透镜组包括按照光线射入方向顺序设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，所述第一透镜组中各透镜的光焦度依次为：第一透镜的光焦度为正、第二透镜的光焦度为负、第三透镜的光焦度为负、第四透镜的光焦度为负，所述第一透镜组整体呈现出的光焦度为负；所述第二透镜组包括按照光线射入方向顺序设置的第五透镜、第六透镜和第七透镜，所述第二透镜组中各透镜的光焦度依次为：第五透镜的光焦度为正、第六透镜的光焦度为正、第七透镜的光焦度为正，所述第二透镜组整体呈现出的光焦度为正；所述第三透镜组包括按照光线射入方向顺序设置的第八透镜、第九透镜、第十透镜和第十一透镜，所述第三透镜组中各透镜的光焦度依次为：第八透镜的光焦度为负、第九透镜的光焦度为正、第十透镜的光焦度为正、第十一透镜的光焦度为正，所述第三透镜组整体呈现出的光焦度为正；所述第四透镜组包括按照光线射入方向顺序设置的第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜和十五透镜，所述第四透镜组中各透镜的光焦度依次为：第十二透镜的光焦度为正、第十三透镜的光焦度为正、第十四透镜的光焦度为正、第十五透镜的光焦度为正，光阑位于所述第十二透镜的后面；所述第一透镜组用于接收光源发射的光线，并将光线折射至所述第二透镜组，所述第二透镜组用于收集从第一透镜组出射的光线，并将收集的光线折射至第三透镜组，所述第三透镜组用于收集从第二透镜组出射的光线，并将收集的光线折射至第四透镜组，所述第四透镜组用于将光线将聚焦于晶圆表面，所述物镜镜头中的透镜处于同一光轴；所述物镜镜头的带宽为260.68~261.32nm，数值孔径NA为0.83，物方视场Φ为0.5mm，理论分辨率为σ为0.192μm，所述物镜镜头包含的每个透镜的镜片镀有所述带宽的增透膜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人清软微视(杭州)科技有限公司，其通讯地址为：311100 浙江省杭州市余杭区仓前街道余杭塘路2959号2幢1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。