恭喜浙江工业大学宫正获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江工业大学申请的专利一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119839764B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510337365.1,技术领域涉及:B24B37/00;该发明授权一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置及方法是由宫正;曾晰;周宇豪;高卓航;温聪;张宝辰;王家耀设计研发完成,并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置及方法;该装置包括机床、模块化机械抛光模块、可调式紫外光灯照射模块和抛光安装模块。模块化机械抛光模块装夹在机床的主轴上。模块化机械抛光模块包括沿着主轴的周向依次排列的多个模块化叶片。本发明在叶片状的抛光结构上方布置紫外灯,使得紫外灯射出的紫外光能够通过抛光叶片之间的缝隙照射到抛光液和试样上,从而引发光催化辅助的化学腐蚀,实现了光催化化学腐蚀与机械抛光的同时执行,避免了现有技术中先将试样置于光催化装置中处理,再置于机械抛光机床中加工的复杂操作并提高了抛光效率。同时,本发明通过相邻的模块化叶片内端相互嵌合减小安装模块化叶片的槽盘直径。
本发明授权一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置,包括机床(1)、模块化机械抛光模块(2)、可调式紫外光灯照射模块(3)和抛光安装模块;所述抛光安装模块安装在所述机床(1)的工作台上,用于安装试样;所述模块化机械抛光模块(2)装夹在机床(1)的主轴上;其特征在于:所述模块化机械抛光模块(2)包括沿着主轴的周向依次排列的多个模块化叶片;所述可调式紫外光灯照射模块包括安装在模块化叶片上方且朝下设置在紫外光灯(3-3);抛光过程中,主轴带动模块化叶片旋转,对试样进行抛光,紫外光灯(3-3)发出的紫外光通过不同模块化叶片之间的间隙照射在试样所处的抛光液中,促使试样的表面发生光催化反应;所述模块化机械抛光模块(2)还包括槽盘(2-2)和压盘(2-3);所述槽盘(2-2)的底面开设有安装槽体;安装槽体包括中心圆槽和多个径向槽体(2-2-1);各径向槽体(2-2-1)沿着中心圆槽的周向依次排列;每个径向槽体(2-2-1)的内端均与中心圆槽连通;每个径向槽体(2-2-1)的外端均与槽盘(2-2)的外圆周面连通;部分或全部径向槽体(2-2-1)中嵌入有模块化叶片;所述模块化叶片包括叶片部分(2-6)和插接部分;所述插接部分包括周向限位段(2-7)和径向限位段(2-8);所述周向限位段(2-7)嵌入槽盘(2-2)的径向槽体(2-2-1)中;所述径向限位段(2-8)嵌入在槽盘(2-2)的中心圆槽;径向槽体(2-2-1)的两侧壁对模块化叶片的周向限位段(2-7)提供周向限位;中心圆槽的圆周侧壁对模块化叶片的径向限位段(2-8)提供径向限位。
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