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龙图腾网恭喜上海市计量测试技术研究院申请的专利基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111487441B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010451028.2，技术领域涉及：G01Q60/24；该发明授权基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法是由吴俊杰;傅云霞;李源;蔡潇雨;魏佳斯;周勇;孙恺欣设计研发完成，并于2020-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法，原子力显微镜扫描头固定设置，在测量过程中静止不动，原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号，原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器，平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测，计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见，本发明的一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法，能够方便地进行测量，测量过程中，原子力显微镜扫描头保持静止，避免了振动导致的测量误差，提高了测量准确性。

本发明授权基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于原子力显微镜的台阶面测量方法，利用基于原子力显微镜的测量装置进行作业，基于原子力显微镜的测量装置包括原子力显微镜扫描头、原子力显微镜信号调理装置、定位平台、平台控制器和计算机；其特征在于，包括如下步骤：1）划分确定台阶面的测量区域：在台阶低位面上确定测量区域A，测量区域A与台阶立壁之间具有一段距离，在台阶高位面上确定测量区域B，测量区域B与台阶立壁之间也具有一段距离；2）通过所述原子力显微镜扫描头扫描测量所述测量区域A和测量区域B的表面轮廓参数并拟合出台阶面的表面轮廓；所述原子力显微镜扫描头固定设置；所述定位平台用于安装被测物体，所述定位平台由平台控制器控制而运动，所述原子力显微镜扫描头用于扫描检测所述被测物体表面并产生检测信号；所述原子力显微镜信号调理装置用于接收并调理原子力显微镜扫描头产生的检测信号并向平台控制器反馈检测信号；所述平台控制器根据原子力显微镜扫描头反馈的检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测；所述计算机用于接收并处理平台控制器所传递的检测信号，所述计算机还用于向平台控制器发送控制指令；工作时，原子力显微镜扫描头静止不动，原子力显微镜扫描头作为零点定位传感器为定位平台的移动提供反馈信号，定位平台提供X、Y、Z三轴的位移，并根据原子力显微镜扫描头反馈的信号实现跟随扫描，记录测量数据；所述原子力显微镜扫描头包括激光二极管、四象限探测器、探针和连接臂，所述探针安装在连接臂的端部，所述探针上设有反射面，所述激光二极管发出的激光由所述反射面反射至四象限探测器，四象限探测器接收反射面反射的光线而产生检测信号；所述定位平台包括移动式的载物台和固定设置的定位检测仪，所述载物台上设有相互正交的X方向反射面、Y方向反射面和Z方向反射面，所述定位检测仪包括X轴激光干涉仪、Y轴激光干涉仪和Z轴激光干涉仪，X轴激光干涉仪、Y轴激光干涉仪和Z轴激光干涉仪分别通过X方向反射面、Y方向反射面和Z方向反射面检测载物台的坐标位置信息，并将坐标位置信息反馈给平台控制器。

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