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龙图腾网恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114972173B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210356413.8，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统是由陈鲁;肖遥;佟异;张嵩设计研发完成，并于2022-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统在说明书摘要公布了：本发明实施例公开的缺陷检测方法例如包括：获取包含待测晶圆的第一待测晶粒在内的待测晶粒图像；获取第一、第二和第三灰阶参考图像，其中，第一、第二和第三灰阶参考图像中对应位置的灰度值依次对应为第一、第二和第三灰度值，且第一灰度值不大于第二灰度值，第二灰度值不大于第三灰度值；将待测晶粒图像分别与第一灰阶参考图像和第三灰阶参考图像进行对比，得到第一待测晶粒的缺陷可疑区域；基于预设筛选信息对缺陷可疑区域进行区域筛选处理，得到第一待测晶粒的目标待测区域；以及根据目标待测区域、待测晶粒图像以及第二灰阶参考图像检测待测晶圆上的第一待测晶粒上的缺陷。本发明实施例公开的缺陷检测方法能提高微小缺陷检测的准确度。

本发明授权缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：获取包含待测晶圆的第一待测晶粒在内的待测晶粒图像；获取第一灰阶参考图像、第二灰阶参考图像和第三灰阶参考图像；其中，所述第一灰阶参考图像、所述第二灰阶参考图像和所述第三灰阶参考图像中对应位置的灰度值依次对应为第一灰度值、第二灰度值和第三灰度值，且所述第一灰度值不大于所述第二灰度值，所述第二灰度值不大于所述第三灰度值；将所述待测晶粒图像分别与所述第一灰阶参考图像和所述第三灰阶参考图像进行对比，得到所述第一待测晶粒的缺陷可疑区域；基于预设筛选信息对所述缺陷可疑区域进行区域筛选处理，得到所述第一待测晶粒的目标待测区域；以及根据所述目标待测区域、所述待测晶粒图像以及所述第二灰阶参考图像检测所述待测晶圆上的所述第一待测晶粒上的缺陷；其中，所述第一灰阶参考图像、所述第二灰阶参考图像和所述第三灰阶参考图像为根据与所述待测晶圆的制程相同的历史晶圆上多个晶粒的图像得到的灰度图像；所述第一灰阶参考图像、所述第二灰阶参考图像和所述第三灰阶参考图像的图案均与所述待测晶粒图像相同、分辨率均与所述待测晶粒相同。

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