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龙图腾网恭喜浙江富芯微电子有限公司申请的专利一种晶棒切割系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115625809B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211348299.0，技术领域涉及：B28D5/04；该发明授权一种晶棒切割系统是由余雅俊;林骞;占俊杰;徐良;刘建哲设计研发完成，并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶棒切割系统在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体材料加工领域的一种晶棒切割系统，包括：切削液池；支撑架，所述支撑架安设于所述切削液池上方以用于对晶棒进行固定；驱动轴，所述驱动轴架设于所述切削液池内，所述驱动轴的轴线与所述晶棒的轴线平行；切割线，所述切割线为环形结构并设置有多条，多条所述切割线环绕在所述驱动轴和所述晶棒上并沿驱动轴的长度方向间隔布置；第一距离调节装置，所述第一距离调节装置随晶棒切割深度增加对晶棒与驱动轴之间的间距进行实时调节。本申请提高了晶棒的切割效率，能够得到高质量平面的碳化硅衬底片。

本发明授权一种晶棒切割系统在权利要求书中公布了：1.一种晶棒切割系统，其特征在于，包括：切削液池；支撑架，所述支撑架安设于所述切削液池上方以用于对晶棒进行固定；驱动轴，所述驱动轴架设于所述切削液池内，所述驱动轴的轴线与所述晶棒的轴线平行；切割线，所述切割线为环形结构并设置有多条，多条所述切割线环绕在所述驱动轴和所述晶棒上并沿驱动轴的长度方向间隔布置；第一距离调节装置，所述第一距离调节装置随晶棒切割深度增加对晶棒与驱动轴之间的间距进行实时调节；角度偏移报警器，所述角度偏移报警器用于对各切割线所在平面与驱动轴的轴线之间的夹角进行实时监测，并在切割线所在平面与驱动轴的轴线由垂直状态发生偏移时，将对应切割线向周围发出预警；所述角度偏移报警器为一对红外光感发射器和接收器，通过预设好的间距，在每个间距上应有一根切割线出现，发射器发出红外光能够等份被接收器所接收；张力检测器，所述张力检测器用于对所述切割线的切割张力进行实时检测，张力检测器通过切割线对驱动轴的压力进行测定；控制器，所述控制器与所述张力检测器和所述第一距离调节装置连接，所述控制器在所述张力检测器检测到切割线的切割张力小于设定切割张力时，控制第一距离调节装置将晶棒与驱动轴之间的间距增加设定距离，驱动轴根据预设好的张力固定值向下移动使切割线从始至终处于绷紧状态，张力固定值保持恒定不变。

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