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龙图腾网恭喜株式会社东京精密申请的专利冷机系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118556282B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280088822.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权冷机系统是由铃木克彦设计研发完成，并于2022-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本冷机系统在说明书摘要公布了：本发明提供低成本以及省空间且具有高耐压性能的冷机系统。冷机系统1具备内部循环路径C1、外部循环路径C2以及控制装置40。在内部循环路径C1设置有冷媒罐17、内部循环泵11以及冷冻机12。外部循环路径C2具有送给路径20以及返回路径25，在送给路径20设置有外部循环泵21以及温度传感器23。在将返回路径25与冷媒罐17之间连通的连通路径设置有节流机构28。在内部循环路径C1设置有开闭控制阀16，加压路径30的一方端在内部循环路径C1中连接于比开闭控制阀16靠上游侧的位置，加压路径30的另一方端在连通路径中连接于比节流机构28靠上游侧的位置。控制装置40基于温度传感器23的测定结果对开闭控制阀16的动作进行控制。

本发明授权冷机系统在权利要求书中公布了：1.一种冷机系统，其使冷媒在晶片搭载台与冷机单元之间循环，其中，所述冷机系统具备：内部循环路径，其能够使所述冷媒在所述冷机单元的内部循环；外部循环路径，其能够使所述冷媒在所述冷机单元与所述晶片搭载台之间循环；以及控制装置，其对所述冷机单元进行控制，在所述内部循环路径设置有冷媒罐、内部循环泵以及冷冻机，所述外部循环路径具有从所述冷机单元朝向所述晶片搭载台的送给路径以及从所述晶片搭载台向所述冷机单元返回的返回路径，在所述送给路径设置有外部循环泵以及温度传感器，所述返回路径具有将所述返回路径与所述冷媒罐之间连通的连通路径，在所述连通路径设置有对流入所述冷媒罐的所述冷媒的流量进行限制的节流机构，在所述内部循环路径，在比所述冷媒罐靠上游侧的位置设置有开闭控制阀，所述冷机系统具有加压路径，所述加压路径用于对在所述返回路径流动的所述冷媒进行加压，且所述加压路径的一方端在所述内部循环路径中连接于比所述开闭控制阀靠上游侧的位置，所述加压路径的另一方端在所述连通路径中连接于比所述节流机构靠上游侧的位置，所述控制装置基于温度设定值或所述温度传感器的测定结果对所述开闭控制阀的动作进行控制。

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