恭喜西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司闫闯获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利基座支撑结构和外延生长装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115787079B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211615290.1，技术领域涉及：C30B25/12；该发明授权基座支撑结构和外延生长装置是由闫闯;俎世琦;张海博设计研发完成，并于2022-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基座支撑结构和外延生长装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基座支撑结构，用于支撑外延生长装置中的基座，所述基座支撑结构包括主支撑轴，和由所述主支撑轴向外延伸的多个支撑臂，所述支撑臂上具有图案化的镂空结构。本发明还涉及一种外延生长装置。通过所述镂空结构的设置，减小基座被所述支撑臂遮挡的区域的面积，提高了基座背面的受热均匀性，改善了晶圆的厚度与电阻率均一性。
本发明授权基座支撑结构和外延生长装置在权利要求书中公布了：1.一种基座支撑结构，用于支撑外延生长装置中的基座，所述基座支撑结构包括主支撑轴，和由所述主支撑轴向外延伸的多个支撑臂，其特征在于，所述支撑臂上具有图案化的镂空结构；沿着远离所述主支撑轴的方向，所述支撑臂在第一方向上的宽度逐渐减小，所述第一方向垂直于所述支撑臂的延伸方向。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司，其通讯地址为：710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号