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龙图腾网恭喜苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司申请的专利一种兼容性晶圆载台装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116053186B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310141902.6，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种兼容性晶圆载台装置是由赵裕兴;支璐设计研发完成，并于2023-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种兼容性晶圆载台装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种兼容性晶圆载台装置，包括支撑台面和产品载台，产品载台通过载台底座安装在支撑台面上的中间位置，产品载台外侧的支撑台面上沿着圆周方向均匀的设置有若干个弧形结构的支撑座，支撑座上安装有两个抚平机构，其中一个抚平机构位于靠近产品载台的一侧，另一个抚平机构位于远离产品载台的一侧。本发明补全了裸晶圆加载台装置工和晶圆带加工载台装置设计的空缺，增加了抚平机构对裸晶圆和晶圆带进行抚平操作；本发明可根据产品翘曲高度和产品尺寸选用不同的抚平装置和调整，无需拆装。

本发明授权一种兼容性晶圆载台装置在权利要求书中公布了：1.一种兼容性晶圆载台装置，包括支撑台面（1）和产品载台（3），所述产品载台（3）通过载台底座（2）安装在支撑台面（1）上的中间位置，产品载台（3）用以支撑裸晶圆及晶圆带，其特征在于，所述产品载台（3）外侧的支撑台面（1）上沿着圆周方向均匀的设置有若干个弧形结构的支撑座（4），所述支撑座（4）上安装有两个抚平机构（5），其中一个所述抚平机构（5）位于靠近产品载台（3）的一侧，另一个所述抚平机构（5）位于远离产品载台（3）的一侧；所述抚平机构（5）包括气缸安装基板（6）、升降气缸（9）和压板（13），所述升降气缸（9）通过气缸安装基板（6）安装在支撑座（4）上，所述升降气缸（9）顶部的活塞杆（10）与上方的压板（13）相连接，所述压板（13）可与产品载台（3）的边缘或者支撑座（4）的边缘相接触设置；所述压板（13）的第一侧通过第一连接臂机构与下方的活塞杆（10）相连接，所述压板（13）的第二侧通过第二连接臂机构与下方的气缸安装基板（6）以及活塞杆（10）相连接；所述气缸安装基板（6）的底部还设置有基板调节块（7），所述基板调节块（7）安装在支撑座（4）上，所述基板调节块（7）通过若干个基板调节螺丝（8）与上方的气缸安装基板（6）相连接。

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