恭喜华芯程(杭州)科技有限公司张宁宁获国家专利权
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龙图腾网恭喜华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利掩膜成像方法、装置、存储介质及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119861537B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510326271.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权掩膜成像方法、装置、存储介质及电子设备是由张宁宁;林云设计研发完成，并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩膜成像方法、装置、存储介质及电子设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种掩膜成像方法、装置、存储介质及电子设备，其中，该掩膜成像方法包括获取掩膜的几何形状和特征信息，掩膜包括至少两层介质；基于特征信息，使用传输矩阵法计算每层介质的传输矩阵，以得到掩膜的总传输矩阵；基于总传输矩阵对初始入射场进行修正，得到目标入射场；根据目标入射场，计算掩膜每个点的衍射近场强度；根据衍射近场强度和几何形状，通过预设成像方法生成掩膜的空间像。本方案可以提高掩膜成像的精度。
本发明授权掩膜成像方法、装置、存储介质及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种掩膜成像方法，其特征在于，包括：获取掩膜的几何形状和特征信息，所述掩膜包括至少两层介质；基于所述特征信息，使用传输矩阵法计算每层所述介质的传输矩阵，以得到所述掩膜的总传输矩阵；基于所述总传输矩阵对初始入射场进行修正，得到目标入射场；根据所述目标入射场，计算所述掩膜每个点的衍射近场强度；根据所述衍射近场强度和所述几何形状，通过预设成像方法生成所述掩膜的空间像。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华芯程(杭州)科技有限公司，其通讯地址为：310000 浙江省杭州市余杭区良渚街道网周路99号1幢22层2208室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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