恭喜麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司施朱斌获国家专利权
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龙图腾网恭喜麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司申请的专利一种在晶圆表面形成均匀的电荷密度的系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119890192B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510379280.X，技术领域涉及：H01L23/544；该发明授权一种在晶圆表面形成均匀的电荷密度的系统是由施朱斌;刘相华设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种在晶圆表面形成均匀的电荷密度的系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种在晶圆表面形成均匀的电荷密度的系统，包括：放电针；第一高压模块，用于为所述放电针施加电压；分段设置的电场模块，每段所述电场模块用于形成设定大小和极性的电场；所述放电针的针尖在高电压下，使空气电离产生电荷；所述电场模块形成的电场，控制电荷的速度和运动路径，使电荷尽量沿垂直方面撒在待测晶圆上；控制单元，用于控制所述第一高压模块和所述电场模块，并根据需要撒在所述待测晶圆上的电荷的数量和实际已撒在所述待测晶圆上的电荷的数量，调整所述第一高压模块的输出电压。本系统可向晶圆表面撒均匀的可控制量的电荷，提高电学参数的测量精度。
本发明授权一种在晶圆表面形成均匀的电荷密度的系统在权利要求书中公布了：1.一种在晶圆表面形成均匀的电荷密度的系统，其特征在于，包括：放电针；第一高压模块，用于为所述放电针施加电压；分段设置的电场模块，每段所述电场模块用于形成设定大小和极性的电场；所述放电针的针尖在高电压下，使空气电离产生电荷；所述电场模块形成的电场，控制电荷的速度和运动路径，使电荷尽量沿垂直方面撒在待测晶圆上；控制单元，用于控制所述第一高压模块和所述电场模块，并根据需要撒在所述待测晶圆上的电荷的数量和实际已撒在所述待测晶圆上的电荷的数量，调整所述第一高压模块的输出电压。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路2305号B幢12层(产证楼层为11层)1203工位；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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