恭喜上海治臻新能源股份有限公司龚文博获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜上海治臻新能源股份有限公司申请的专利一种沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222935487U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520604621.4，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种沉积装置是由龚文博;王健;毕飞飞;姜天豪;胡鹏;蓝树槐设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种沉积装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种沉积装置，包括空心阴极、第一电源和基板。空心阴极包括具有通孔的靶材，该通孔用于流通工艺气体，第一电源与靶材电连接，用于在通孔内产生电场，沿工艺气体流动的方向，基板与空心阴极的输出端间隔分布，且通孔的投影位于基板的投影范围内。其中，通孔为条形结构，能够扩大通孔的通流截面积，使得离子体更加集中，以提高通孔内的等离子体密度，从而使得更多的离子轰击靶材的表面，更多的离子和电子相互碰撞，以提高工艺气体和靶材的离化率，进而形成更多的纳米晶核，在等离子体中，凝聚离子形成不同尺寸的纳米颗粒，提高纳米颗粒生产效率。且单一较大的通孔能够降低工艺气体的流动阻力，使得沉积在基板上的纳米颗粒层更加均匀。
本实用新型一种沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种沉积装置，其特征在于，所述沉积装置包括：空心阴极，所述空心阴极具有通孔，用于流通工艺气体；第一电源，所述第一电源与所述空心阴极电连接，用于在所述通孔内产生电场；基板，沿所述工艺气体流动的方向，所述基板与所述空心阴极的输出端间隔分布，且所述通孔的投影位于所述基板的投影范围内；其中，所述空心阴极包括靶材，所述靶材设置有所述通孔，且沿所述工艺气体流动的方向，所述通孔的截面形状为条形结构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海治臻新能源股份有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区层林路1500号1幢厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号