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龙图腾网恭喜常州科瑞尔科技有限公司申请的专利一种刻蚀出料翻片装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111916382B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010878218.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种刻蚀出料翻片装置是由于彬;李昂;唐光明设计研发完成，并于2020-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种刻蚀出料翻片装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种刻蚀出料翻片装置，其特征在于：所述的电机安装座安装在机架内，驱动电机安装在电机安装座上，主动带轮安装在驱动电机输出轴上，机架顶面沿左右方向等间距安装有若干个传送单元且每个传送单元前侧都安装有翻转单元，滑片接收盒安装在机架顶面上且滑片接收盒位于翻转单元的前侧，从动带轮安装在传动轴右端，同步齿形带安装在从动带轮和主动带轮上。本发明结构简单，采用方型伯努利吸盘，确保吸力的同时，减少了吸盘的体积，安装有滑片接收装置，设备发生故障时，刻蚀设备内流出的硅片不会堵塞在设备内，皮带采用特殊的方式缠绕，避开了中间传送轴，更换皮带时，不需要拆传送传动轴，大大减少了设备维修时间。

本发明授权一种刻蚀出料翻片装置在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀出料翻片装置，其特征在于：包括机架（1）、传送单元（2）、翻转单元（3）、滑片接收盒（4）、从动带轮（5）、传动轴（6）、同步齿形带（7）、电机安装座（8）、主动带轮（9）和驱动电机（10），所述的电机安装座（8）固定安装在机架（1）内，所述的驱动电机（10）安装在电机安装座（8）上，所述的主动带轮（9）固定安装在驱动电机（10）输出轴上，所述的机架（1）顶面沿左右方向等间距安装有若干个传送单元（2）且每个传送单元（2）前侧都安装有翻转单元（3），所述的翻转单元（3）安装在机架（1）顶面上，所述的滑片接收盒（4）固定安装在机架（1）顶面上且滑片接收盒（4）位于翻转单元（3）的前侧，所述的传动轴（6）安装在传送单元（2）上，所述的从动带轮（5）固定安装在传动轴（6）右端，所述的同步齿形带（7）安装在从动带轮（5）和主动带轮（9）上；所述的传送单元（2）由基座（201）、前托板（202）、前惰轮（203）、前传送带（204）、后传送带（205）、后托板（206）、后驱动轮（207）、轴承座（208）、前驱动轮（209）和后惰轮（210）组成，所述的基座（201）固定安装在机架（1）顶面上，所述的前驱动轮（209）固定安装在传动轴（6）上且前驱动轮（209）位于基座（201）前侧，所述的基座（201）前侧面上安装有若干个前惰轮（203），所述的前传送带（204）依次安装在前惰轮（203）和前驱动轮（209）上，所述的前托板（202）固定安装在基座（201）前侧面上，所述的轴承座（208）固定安装在基座（201）上且传动轴（6）通过轴承安装在轴承座（208）上，所述的后驱动轮（207）固定安装在传动轴（6）上且后驱动轮（207）位于基座（201）后侧，所述的基座（201）后侧面上安装有若干个后惰轮（210），所述的后传送带（205）依次安装在后驱动轮（207）和后惰轮（210）上，所述的后托板（206）固定安装在基座（201）后侧面上；所述的翻转单元（3）由吸盘固定臂（301）、方形吸盘（302）、减速器支架（303）、固定板（304）、伺服电机（305）、减速器（306）、感应支架（307）、接近开关（308）和传感器安装架（309）组成，所述的减速器支架（303）固定安装在固定板（304）上，所述的固定板（304）固定安装在机架（1）顶面上，所述的伺服电机（305）安装在减速器（306）上，所述的减速器（306）安装在减速器支架（303）上，所述的吸盘固定臂（301）和感应支架（307）都固定安装在减速器（306）输出轴上，所述的方形吸盘（302）固定安装在吸盘固定臂（301），所述的传感器安装架（309）固定安装在减速器支架（303）上，所述的接近开关（308）固定安装在传感器安装架（309）上。

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