恭喜北京华卓精科科技股份有限公司;北京优微精密测控技术研究有限公司孙岩获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京华卓精科科技股份有限公司;北京优微精密测控技术研究有限公司申请的专利密封方法及粘结工装获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114607769B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011433203.1，技术领域涉及：F16J15/06；该发明授权密封方法及粘结工装是由孙岩;金实;周二虎;张利设计研发完成，并于2020-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本密封方法及粘结工装在说明书摘要公布了：本发明提供一种密封方法及粘结工装，涉及半导体制造领域。该方法用于密封光刻机部件的缝隙，包括：模切胶带，获得与待粘结缝隙形状匹配的粘结带；层叠粘结至少两层支撑膜，然后模切位于最外层的支撑膜，得到用于容纳胶带的通槽，并形成粘结工装；将粘结带粘结至通槽内；将粘结带粘结至待粘结缝隙，并揭掉粘结工装。该方法中，制作的粘结工装具有至少两层支撑膜，将粘结带粘结至粘结工装的通槽内后，支撑膜对粘结带起到支撑作用，使粘结带不易发生变形而维持平整，从而密封时，粘结带的各部位能够同时与待粘结物体接触，平整地粘结于待粘结物体，严格地密封待粘结缝隙；粘结带维持平整不变形，还有利于避免气泡产生，进而保证密封效果。
本发明授权密封方法及粘结工装在权利要求书中公布了：1.一种密封方法，用于密封光刻机部件的缝隙，其特征在于，该密封方法包括：模切胶带，获得与待粘结缝隙形状匹配的胶带部分即粘结带；层叠粘结至少两层支撑膜，然后模切位于最外层的支撑膜，得到用于容纳胶带的通槽，同时形成粘结工装；将胶带的背侧即胶带不具有胶粘剂的一侧粘结至通槽内；将粘结带具有胶粘剂的一侧粘结至待粘结缝隙，并揭掉粘结工装。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京华卓精科科技股份有限公司;北京优微精密测控技术研究有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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