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龙图腾网恭喜株式会社迪思科申请的专利检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112975112B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011425695.X，技术领域涉及：B23K26/00；该发明授权检测装置是由能丸圭司设计研发完成，并于2020-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本检测装置在说明书摘要公布了：本发明提供检测装置，即使在无法通过红外线照相机从晶片的背面检测形成于正面的分割预定线的情况下，也能够从晶片的背面检测形成于正面的分割预定线。对被加工物的内部进行检测的检测机构包含：波长区分延迟单元，其使从激光振荡器射出的每一个脉冲的脉冲激光光线按照每个波长而具有时间差；以及环生成单元，其将按照每个波长而具有时间差的脉冲激光光线生成为环状，并且按照每个波长从小环形光分光为大环形光。当向被加工物照射按照每个波长而具有时间差的环状的脉冲激光光线时，在被加工物内部产生超声波的干涉波，在超声波所会聚的位置产生振动。从激光光线照射器向与该振动的中心对应的被加工物的上表面照射激光光线。

本发明授权检测装置在权利要求书中公布了：1.一种检测装置，其包含卡盘工作台和检测机构，该卡盘工作台具有由X轴坐标和Y轴坐标规定的保持面，该保持面对被加工物进行保持，该检测机构对该卡盘工作台所保持的被加工物的内部进行检测，其中，该检测机构具有：激光振荡器，其振荡出宽频带波长的脉冲激光；波长区分延迟单元，其使从该激光振荡器射出的每一个脉冲的脉冲激光光线按照每个波长而具有时间差；环生成单元，其将按照每个波长而具有时间差的脉冲激光光线生成为环状，并且将脉冲激光光线按照每个波长从小环形光分光为大环形光；分束器，其对从小环形光分光为大环形光的脉冲激光光线进行分支；掠描扫描器，其按照X轴坐标对由该分束器向第一方向分支的脉冲激光光线进行扫描；分度扫描器，其将该脉冲激光光线按照Y轴坐标进行分度；fθ透镜，其将从小环形光分光为大环形光的脉冲激光光线照射到该卡盘工作台所保持的被加工物的由X轴坐标和Y轴坐标确定的上表面；激光光线照射器，其配设在由该分束器分支的第二方向上，照射检测用激光光线；半反射镜，其配设在该激光光线照射器与该分束器之间；回光镜，其以与该半反射镜夹着该分束器的方式配设，使通过了该半反射镜的检测用激光光线返回该半反射镜；光探测器，其接受被该半反射镜反射的光；以及图像生成单元，其根据该光探测器所接受的光的强度和被照射了该脉冲激光光线的被测量部的上表面的X轴坐标和Y轴坐标而生成图像，通过向该卡盘工作台所保持的被加工物的上表面照射从该小环形光以具有时间差的方式分光为该大环形光的脉冲激光光线而生成的超声波的干涉波在被加工物的内部的规定的Z轴坐标处会聚而产生振动，通过该半反射镜将向与产生了该振动的位置对应的被加工物的上表面照射该检测用激光光线而发生了反射的捕捉到该振动的调制的第一返回光和由通过该回光镜而返回的该检测用激光光线生成的第二返回光的干涉光引导至该光探测器，通过该图像生成单元来生成表示该超声波的干涉波所会聚的点附近的状态的图像。

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