恭喜ASML荷兰有限公司S·G·J·马西森获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于推断局部均匀性度量的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115210650B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180018058.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于推断局部均匀性度量的方法是由S·G·J·马西森;K·巴塔查里亚设计研发完成，并于2021-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于推断局部均匀性度量的方法在说明书摘要公布了：披露了一种推断与产品结构相关联的至少一个局部均匀性度量的值的方法，所述方法包括：获得包括强度图像的强度数据，所述强度图像与根据关于目标的测量结果获得的至少一个衍射阶相关联；根据所述强度图像获得至少一个强度分布；根据所述至少一个强度分布确定强度指标，所述强度指标表示所述至少一个衍射阶上的强度的变化或所述强度图像上的两个互补衍射阶之间的强度差的变化；以及根据所述强度指标推断所述至少一个局部均匀性度量的值。
本发明授权用于推断局部均匀性度量的方法在权利要求书中公布了：1.一种推断与产品结构相关联的至少一个局部均匀性度量的值的方法，所述方法包括：获得包括强度图像的强度数据，所述强度图像与根据关于目标的测量结果获得的至少一个衍射阶相关联；根据所述强度图像获得至少一个强度分布；根据所述至少一个强度分布确定强度指标，所述强度指标表示a所述至少一个衍射阶上的强度的变化或b所述强度图像上的两个互补衍射阶之间的强度差的变化；以及根据所述强度指标推断所述至少一个局部均匀性度量的值。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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