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龙图腾网恭喜西安知微传感技术有限公司申请的专利多折扭转梁及包括该多折扭转梁的非线性减弱的MEMS扭转镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115469447B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110646788.3，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权多折扭转梁及包括该多折扭转梁的非线性减弱的MEMS扭转镜是由宋秀敏;宋旭东设计研发完成，并于2021-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本多折扭转梁及包括该多折扭转梁的非线性减弱的MEMS扭转镜在说明书摘要公布了：本发明属于微光机电领域，具体涉及MEMS扭转镜，特别是一种多折扭转梁及包括该多折扭转梁的非线性减弱的MEMS扭转镜。解决由非线性引起的频率范围和转角限制以及角度控制难度大等问题。多折扭转梁包括三组扭转梁、六组横梁及两组过渡梁，通过布置多组横梁使各段扭转梁的扭转中心与各自几何中心重合，减弱因多折扭转梁各位置扭转变形差异大而带来的MEMS扭转镜的运动非线性。结合可以提供线性扭矩的驱动器，实现非线性减弱的MEMS扭转镜。其在采用多折扭转梁时，不表现出明显的非线性特征，即谐振运动不出现非稳定域和双向扫频相差大的现象，静态转动不出现驱动力和转角之间的非线性关系，提升MEMS扭转镜的性能。

本发明授权多折扭转梁及包括该多折扭转梁的非线性减弱的MEMS扭转镜在权利要求书中公布了：1.一种非线性减弱的MEMS扭转镜，包括驱动结构、可动结构与及固定框架，所述可动结构包括反射镜与多折扭转梁；其特征在于：两个多折扭转梁对称布置在反射镜两侧；所述多折扭转梁包括三组扭转梁、六组横梁及两组过渡梁；所述三组扭转梁相互平行，沿y方向延伸，沿x方向排布，分别为第一扭转梁、第二扭转梁与第三扭转梁，第一扭转梁与第三扭转梁排布在第二扭转梁两侧，且关于第二扭转梁对称；六组横梁均沿x方向延伸，分别为第一横梁、第二横梁、第三横梁、第四横梁、第五横梁及第六横梁；第一横梁与第四横梁排布在第二扭转梁两侧，且关于第二扭转梁对称；第二横梁与第五横梁排布在第二扭转梁两侧，且关于第二扭转梁对称；第三横梁与第六横梁排布在第二扭转梁两侧，且关于第二扭转梁对称；两组过渡梁分别为第一过渡梁与第二过渡梁，沿y方向延伸，排布在第二扭转梁两侧，且关于第二扭转梁对称；第一横梁、第一扭转梁、第二横梁、第一过渡梁及第三横梁依次首尾相接；第四横梁、第三扭转梁、第五横梁、第二过渡梁及第六横梁依次首尾相接；第三横梁与第六横梁连接后与第二扭转梁一端连接，第二扭转梁的另一端用于与MEMS扭转镜连接；第一横梁与第四横梁的自由端远离第二扭转梁，用于与MEMS扭转镜的固定框架连接；各个梁连接部位设置圆弧倒角；第二横梁和第五横梁为细长梁，确保在扭转过程中发生一定的变形，变形可将第一扭转梁和第三扭转梁的扭转变形中心由第二扭转梁的几何中心调整到各自的几何中心；两个多折扭转梁中第一横梁与第四横梁的自由端均与固定框架连接，驱动结构用于驱动两个多折扭转梁带动反射镜线性运动;W2.6＞W2.21＞W2.62≈W2.51＞W2.11≈W2.31；L2.11≈L2.41＜L2.312.5；其中，W2.6为第二扭转梁的宽度，W2.21为第一扭转梁的宽度，W2.51为第三横梁的宽度，W2.11为第一横梁的宽度，W2.31为第二横梁的宽度，L2.11为第一横梁的长度，L2.41为第一过渡梁的长度，L2.31为第二横梁的长度。

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