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龙图腾网恭喜马卡罗有限公司申请的专利具有非对称电热丝结构的基座加热器块获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116324029B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180069006.2，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权具有非对称电热丝结构的基座加热器块是由李俊皞;崔东铁;安世赫;洪明基;朴珍万设计研发完成，并于2021-10-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有非对称电热丝结构的基座加热器块在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于化学气相沉积机的基座加热器块，其特征在于，表面设置有真空施加结构以通过真空吸附固定晶圆，具有用于向晶圆背面供应温度均匀化用气体的供气孔和用于加热晶圆的电热丝，所述电热丝的设置成在相当于晶圆中心部的加热器块的中心部大于其外侧的周围部。其中，为了便于设置，电热丝的布置可以采用耳蜗状等非对称式，而不是左右对称式，在非对称式的情况下，可以设置成弹筒式加热器。根据本发明，当晶圆或基板放置于基座加热器块并执行化学气相沉积工艺时，对基板背面施加低压，如3托以下的低压而真空吸附力增加时，通过在相当于晶圆中容易成为低温的位置的加热器块的中心部以大于周围部的设置密度设置加热器，能够在沉积工艺过程中整个晶圆的温度偏差与现有技术相比减少，能够提高晶圆上沉积的膜的厚度均匀度和均质性。

本发明授权具有非对称电热丝结构的基座加热器块在权利要求书中公布了：1.一种具有非对称电热丝结构的基座加热器块，其是用于化学气相沉积机的基座加热器块，表面设置有真空施加结构以通过真空吸附固定晶圆，具有用于向晶圆背面供应温度均匀化用气体的供气孔和用于加热晶圆的电热丝，其特征在于，将所述真空施加结构和所述供气孔对晶圆背面施加的背面压力设定为3托以下的低压，所述加热器块由铝或铝合金制成，所述电热丝设置成设置密度在加热器块的中心部大于其外侧的周围部；所述电热丝的电流输入端和输出端叠放并仅形成在电热丝一侧且电线为叠放双层的弹筒式；电热丝的端子连接至加热器块的后侧杆，折弯的电热丝的端子穿过后盖的通孔，并通过其后侧杆的中心与外部电源的连接，电热丝通过位于加热器块的中心部的电热丝端部实现与外部电源的连接。

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