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恭喜西华大学阳小明获国家专利权

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龙图腾网恭喜西华大学申请的专利基于低载流子寿命提高SOI横向功率器件耐压的结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114335151B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210026167.X,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权基于低载流子寿命提高SOI横向功率器件耐压的结构是由阳小明;李天倩;曹太强;吴健;李佰强;杨志国设计研发完成,并于2022-01-11向国家知识产权局提交的专利申请。

基于低载流子寿命提高SOI横向功率器件耐压的结构在说明书摘要公布了:本发明提供基于低载流子寿命提高SOI横向功率器件耐压的结构,包括结构上面的源电极、栅电极、漏电极;源电极下面有p+、n+区域,p+区域用于消除寄生NPN晶体管效应,n+区域用于收集沟道流过来的电子;栅电极下面有双扩散形成的P阱,为n沟道;当栅电压大于阈值电压时,栅氧层下面形成电子层,器件导通;漏极下面为n+区域;栅电极、漏电极之间为漂移区,用于提高器件关断时的耐压;漂移区的下方为低载流子寿命层;低载流子寿命层下面是埋氧层,将漂移区和衬底作了电气隔离;埋氧层下面是P型衬底,器件底部为衬底电极。该发明广泛应用于高压SOI横向功率器件与集成电路;以较低的成本提高了SOI功率器件的耐压。

本发明授权基于低载流子寿命提高SOI横向功率器件耐压的结构在权利要求书中公布了:1.基于低载流子寿命提高SOI横向功率器件耐压的结构,包括结构上面的源电极(1)、栅电极(2)、漏电极(3);源电极(1)下面有p+、n+区域,p+区域用于消除寄生NPN晶体管效应,n+区域用于收集沟道流过来的电子;栅电极(2)下面有双扩散形成的P阱,为n沟道;当栅电压大于阈值电压时,栅氧层下面形成电子层,器件导通;漏电极(3)下面为n+区域;栅电极(2)、漏电极(3)之间为漂移区(4),用于提高器件关断时的耐压;其特征在于:漂移区(4)的下方为低载流子寿命层(5),由N型硅中引入深能级复合中心得到;低载流子寿命层(5)下面是埋氧层(6),将漂移区(4)和衬底做了电气隔离;埋氧层(6)下面是P型衬底(7),器件底部为衬底电极;通过在漂移区(4)与埋氧层(6)之间引入一低载流子寿命的硅层;设计SOI横向功率器件的耐压时,优化器件参数使击穿发生在漏电极下方顶层硅与埋氧层界面硅侧处;而引入的低载流子寿命硅层提高器件击穿处的临界击穿电场,从而提高器件的耐压。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西华大学,其通讯地址为:611743 四川省成都市郫都区红光大道9999号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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