恭喜国科大杭州高等研究院王义坤获国家专利权
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龙图腾网恭喜国科大杭州高等研究院申请的专利一种用于精密激光干涉测量标定的亚纳米级高精度微位移装置及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114963998B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210497613.5，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种用于精密激光干涉测量标定的亚纳米级高精度微位移装置及应用是由王义坤;孟令强;高瑞弘;丛蕊;边伟;贾建军;王建宇设计研发完成，并于2022-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于精密激光干涉测量标定的亚纳米级高精度微位移装置及应用在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于精密激光干涉测量标定的亚纳米级高精度微位移装置及应用，利用差动电容测微反馈配合静电悬浮驱动进行闭环控制，实现亚纳米量级的高精度微位移实时监测，并可以作为亚纳米量级高精度微位移参考的基准；同时利用主动隔振台隔离掉地面振动噪声对亚纳米量级高精度微位移装置的振动影响；在浮动基板上巧妙镶嵌一个角锥反射镜，作为精密激光干涉测量系统的动镜，另外一个固定角锥反射镜作为静镜，静电悬浮驱动浮动基板带动角锥反射镜产生亚纳米量级的定量微位移，利用精密激光干涉测量系统对角锥反射镜的定量微位移进行测量，建立测量结果和微位移之间的定量标定关系，完成对精密激光干涉测量系统的亚纳米量级位移测量标定。
本发明授权一种用于精密激光干涉测量标定的亚纳米级高精度微位移装置及应用在权利要求书中公布了：1.一种用于精密激光干涉测量标定的亚纳米级高精度微位移装置，其特征在于：所述用于精密激光干涉测量标定的亚纳米级高精度微位移装置包括固定底板、固定顶板和布置在固定底板和固定顶板两者所包绕的空间内的浮动基板，所述固定底板和固定顶板之间设有差动电容传感器，所述差动电容传感器包括定电容上极板、定电容下极板和动电容极板，所述定电容上极板布置在固定顶板的下表面，所述定电容下极板布置在固定底板的上表面，所述浮动基板外表面包覆有一圈动电容极板；所述浮动基板上设有角锥反射镜，所述角锥反射镜的位置满足入射至角锥反射镜的光线可以无遮挡返回。
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