恭喜杭州电子科技大学陈蔓汝获国家专利权
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龙图腾网恭喜杭州电子科技大学申请的专利一种氧化亚铜-磷化亚铜异质结的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114883488B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210529947.6,技术领域涉及:H10N70/20;该发明授权一种氧化亚铜-磷化亚铜异质结的制备方法是由陈蔓汝;彭雪;郭欣;吕燕飞;席俊华;赵士超设计研发完成,并于2022-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化亚铜-磷化亚铜异质结的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种氧化亚铜‑磷化亚铜异质结的制备方法,本发明先生成磷化亚铜薄膜,之后,在磷化亚铜表面沉积氧化锌薄膜,然后进行热处理,获得p型氧化亚铜。其次,采用模板法在磷化亚铜表面通过磁控溅射沉积氧化锌薄膜,氧化锌薄膜呈叉指形图案,热处理后,表面沉积有氧化锌的部分转变成p型氧化亚铜,形成p型氧化亚铜与p型磷化亚铜的面内异质结。通过热蒸发法在氧化亚铜和磷化亚铜区沉积金电极,制备成异质结器件。本发明制备的由p型氧化亚铜和p型磷化亚铜形成的异质结,成本低,重复性好,忆阻性能好。
本发明授权一种氧化亚铜-磷化亚铜异质结的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种氧化亚铜-磷化亚铜异质结的制备方法,其特征在于,该方法具体包括以下步骤:步骤1.制备磷化亚铜薄膜;步骤2.磷化亚铜薄膜表面放置掩膜版,通过磁控溅射法沉积氧化锌薄膜,氧化锌薄膜呈叉指电极形状;磁控溅射设备真空度0.1-1.0Pa,氧气流量1-5sccm,氩气流量20-50sccm,溅射电压300-450V,电流30-60mA,溅射时间20-40min,靶材为金属锌靶;制备的氧化锌薄膜厚度50-200nm;步骤3.步骤2产物放入管式炉的石英管中,充入惰性气体氩气,加热石英管,石英管升温速率20℃min,升至760-850℃,并保温60-120min,之后石英管自然冷却至室温,获得由p型氧化亚铜和p型磷化亚铜形成的异质结。
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