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恭喜广州华星光电技术有限公司陈寿清获国家专利权

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龙图腾网恭喜广州华星光电技术有限公司申请的专利阵列基板及其制作方法、显示面板获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115000093B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210617497.6,技术领域涉及:H10D86/60;该发明授权阵列基板及其制作方法、显示面板是由陈寿清;卢马才设计研发完成,并于2022-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。

阵列基板及其制作方法、显示面板在说明书摘要公布了:本申请实施例公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板,阵列基板包括:层叠设置的衬底、有源层、第一金属层、绝缘层和第二金属层,有源层包括源极接触部和漏极接触部;第二金属层与源极接触部之间的绝缘层上设置第一连接孔,第二金属层与漏极接触部之间的绝缘层上设置第二连接孔;绝缘层与源极接触部之间、绝缘层与漏极接触部之间均设置有金属保护层,金属保护层在垂直衬底的方向上的正投影至少覆盖第一连接孔和第二连接孔的正投影;本申请技术方案可以采用常规气体干刻蚀方案进行LTPS阵列基板的刻蚀,得到的产品性能稳定,刻蚀过程危险系数低,价格便宜,有效降低了LTPS阵列基板的生产成本。

本发明授权阵列基板及其制作方法、显示面板在权利要求书中公布了:1.一种阵列基板,其特征在于,包括:衬底;有源层,设置于所述衬底上,所述有源层包括沟道部、设置于所述沟道部两侧且与所述沟道部电连接的源极接触部和漏极接触部;绝缘层,设置于所述衬底和所述有源层上;第一金属层,与所述绝缘层层叠设置,且对应所述沟道部设置;第二金属层,设置于所述绝缘层上方,且对应所述源极接触部和所述漏极接触部设置,所述第二金属层与所述源极接触部之间的所述绝缘层上设置有第一连接孔,所述第二金属层与所述漏极接触部之间的所述绝缘层上设置有第二连接孔,所述第二金属层分别穿过所述第一连接孔和所述第二连接孔与所述源极接触部和所述漏极接触部电连接;其中,所述绝缘层与所述源极接触部之间、以及所述绝缘层与所述漏极接触部之间均设置有金属保护层,在垂直所述衬底的方向上,所述金属保护层的正投影至少覆盖所述第一连接孔和所述第二连接孔的正投影;所述金属保护层上设置有硅基绝缘层,所述硅基绝缘层上设置有第三连接孔和第四连接孔,所述第三连接孔与第一连接孔连通,所述第四连接孔与第二连接孔连通,且所述硅基绝缘层的材料与所述沟道部的材料相同,均为低温多晶硅。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广州华星光电技术有限公司,其通讯地址为:510663 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开达路88号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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