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龙图腾网恭喜上海华力集成电路制造有限公司申请的专利基于LSTM的半导体制造机台虚拟量测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115114852B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210714746.3，技术领域涉及：G06F18/20；该发明授权基于LSTM的半导体制造机台虚拟量测装置是由李金金;刘玉珺;龚丹莉;邵雄设计研发完成，并于2022-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于LSTM的半导体制造机台虚拟量测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于LSTM的半导体制造机台虚拟量测装置包括：LSTM模块，用于根据输入的半导体制造机台的数据来输出量测数据预测值；窗口移动LSTM模块，用于捕获半导体制造机台的过程变量和量测数据的长期漂移信息，以更新LSTM模块的模型参数。本发明能根据生产机台数据自动预测一些关键量测参数且能提高预测精度的稳定性，如能在不同工艺腔、不同时期上都有稳定的预测精度，能及时发现制造过程中的异常，节省量测效益，实现批次的控制。

本发明授权基于LSTM的半导体制造机台虚拟量测装置在权利要求书中公布了：1.一种基于LSTM的半导体制造机台虚拟量测装置，其特征在于，包括：LSTM模块，用于根据输入的半导体制造机台的数据来输出量测数据预测值；所述量测数据预测值为完成所述半导体制造机台的制造工艺的晶圆的量测数据的预测值；窗口移动LSTM模块，用于捕获所述半导体制造机台的过程变量和量测数据的长期漂移信息，以更新所述LSTM模块的模型参数，从而提高所述LSTM模块的预测精度的稳定性；所述窗口移动LSTM模块工作时，所述窗口移动LSTM模块所捕获的所述半导体制造机台的过程变量为FDC数据以及所述晶圆的量测数据为前3片～5片晶圆的量测数据；所述窗口移动LSTM模块包括标准化模块以及PCA模块；所述标准化模块用于对所述FDC数据进行标准化处理；所述PCA模块用于对经过标准化处理后的所述FDC数据进行特征提取；所述窗口移动LSTM模块根据所述晶圆的量测数据计算更新前的所述LSTM模块的长期漂移信息，所述长期漂移信息为由所述晶圆的量测数据和更新前的所述LSTM模块的量测数据预测值之间的残差值；所述窗口移动LSTM模块还包括量测数据顺序输入模块，所述窗口移动LSTM模块工作时，所述量测数据顺序输入模块使所述晶圆的量测数据按顺序输入到更新前的所述LSTM模块中。

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