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龙图腾网恭喜王志远申请的专利一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115332103B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211043323.X，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法是由王志远设计研发完成，并于2022-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法，包括支架和可转动的传送带，传送带上设置有石墨舟，石墨舟内设置有硅片；支架滑动连接有第二活动板，第二活动板两端分别连接有激光发射器和激光接收器，激光发射器和激光接收器设置在石墨舟两侧；支架转动连接有第一丝杆，第一丝杆连接有第一电机，第一电机与支架固定连接，第一丝杆配合设置有第一丝母，第一丝母与第二活动板固定连接。本发明可检测石墨舟舟片有无变形、上料有无少片、翘片、下料有无翘片、掉片等异常，发现异常后及时人工干预处理或将硅片夹取，避免不良的产生，提高产线良品率，降低生产成本。

本发明授权一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置，包括支架（2）和可转动的传送带（1），其特征在于，所述传送带（1）上设置有石墨舟（5），所述石墨舟（5）内设置有硅片（4）；所述支架（2）滑动连接有第二活动板（22），所述第二活动板（22）两端分别连接有激光发射器（19）和激光接收器（18），所述激光发射器（19）和所述激光接收器（18）设置在所述石墨舟（5）两侧；所述支架（2）转动连接有第一丝杆（6），所述第一丝杆（6）连接有第一电机（17），所述第一电机（17）与所述支架（2）固定连接，所述第一丝杆（6）配合设置有第一丝母（16），所述第一丝母（16）与所述第二活动板（22）固定连接；所述第二活动板（22）转动连接有第三丝杆（23），所述第三丝杆（23）连接有第三电机（15），所述第三电机（15）与所述第二活动板（22）固定连接，所述第三丝杆（23）配合设置有第三丝母，所述第三丝母固定连接有固定座（21）；所述第二活动板（22）与所述固定座（21）滑动连接，所述固定座（21）连接有激光测距仪（20），所述激光测距仪（20）设置在所述石墨舟（5）上方；所述激光发射器（19）、激光接收器（18）、传送带（1）、第一电机（17）、第三电机（15）和激光测距仪（20）连接有控制器；所述支架（2）两端固定连接有第一导轨（7），所述第二活动板（22）两端与所述第一导轨（7）滑动连接；所述第二活动板（22）开设有长条孔，所述固定座（21）与所述长条孔滑动连接，所述固定座（21）穿出所述长条孔后连接有激光测距仪（20）；所述激光发射器（19）发射激光射线，所述激光射线穿过硅片（4）中间位置，所述激光射线高度高于硅片（4）表面0.3-1.0mm；所述支架（2）通过移动机构连接有夹爪（12），所述夹爪（12）包括夹爪主体（121），所述夹爪主体（121）固定连接有若干个水平方向设置的滑轨，所述滑轨内滑动连接有导向滑块（122），所述导向滑块（122）固定连接有活动夹爪（123）；所述夹爪主体（121）滑动连接有竖直方向设置的滑动块（125），所述滑动块（125）铰接有连杆（126），所述连杆（126）另一端与所述导向滑块（122）铰接，所述夹爪主体（121）固定连接有电推杆（8），所述电推杆（8）与所述滑动块（125）相连；所述活动夹爪（123）共设置有两个且对称设置在所述滑动块（125）两侧；所述电推杆（8）与所述控制器相连；所述移动机构包括与所述支架（2）两端固定连接有第二导轨（9），所述第二导轨（9）之间滑动连接有第一活动板（11），所述支架（2）转动连接有第二丝杆（13），所述第二丝杆（13）配合设置有第二丝母，所述第二丝母与所述第一活动板（11）固定连接；所述第二丝杆（13）连接有第二电机（14），所述第二电机（14）与所述支架（2）固定连接；所述第二电机（14）与所述控制器相连；所述第一活动板（11）转动连接有第四丝杆（29）和限位杆（24），所述第四丝杆（29）配合设置有第四丝母，所述第四丝母与所述限位杆（24）滑动连接；所述第四丝杆（29）连接有第四电机（30），所述第四电机（30）与所述第一活动板（11）固定连接，所述第四丝母固定连接有支撑板（32）；所述第四电机（30）与所述控制器相连；所述支撑板（32）转动连接有螺母（28），所述螺母（28）内螺纹连接有螺杆（10），所述支撑板（32）开设有供螺杆（10）穿过的通孔，所述螺杆（10）贯穿该通孔后连接有夹爪主体（121），所述夹爪主体（121）固定连接有导向杆（101），所述导向杆（101）与所述支撑板（32）滑动连接；所述支撑板（32）固定连接有垂直电机（26），所述垂直电机（26）连接有主动轮（25），所述螺母（28）固定套设有被动轮，所述主动轮（25）与所述被动轮挂设有同步带（27）；所述垂直电机（26）与所述控制器相连。

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