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恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所糜小涛获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利共焦测量系统及其测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115493517B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211087817.8,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权共焦测量系统及其测量方法是由糜小涛;王之一;王建立;王廷煜;杨永强;杨禹凯;刘昌华;全胜;姚凯男设计研发完成,并于2022-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。

共焦测量系统及其测量方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种共焦测量系统及测量方法。共焦测量系统包括测量单元、位置测量单元和角度测量单元,测量单元包括沿光路依次设置的激光光源、准直透镜、第一分束镜、聚焦透镜、第二分束镜、数据处理组件。通过本发明提供的共焦测量系统及测量方法能够同时获取待测物的面型信息和表面倾角信息,能够实现大角度范围的测量,并且本发明提供的共焦测量系统的结构简单易于实现,测量方法易于操作,并且同时兼顾了准确性和快速性。

本发明授权共焦测量系统及其测量方法在权利要求书中公布了:1.一种共焦测量系统,其特征在于,包括测量单元、位置测量单元和角度测量单元;其中,所述测量单元包括沿光路依次设置的激光光源、准直透镜、第一分束镜、聚焦透镜、第二分束镜、数据处理组件;所述位置测量单元包括共焦显微镜组件或者差分共焦组件;所述激光光源发出的光束经所述准直透镜准直后,透射至所述第一分束镜,经所述第一分束镜透射至所述聚焦透镜进行聚焦,聚焦后的光束入射至待测物表面,经所述待测物表面反射后穿过所述聚焦透镜后,入射至所述第一分束镜,经所述第一分束镜反射至所述第二分束镜进行分光,一部分光束被反射作为角度测量光束入射至所述角度测量单元,另一部分被透射作为位置测量光束入射至所述位置测量单元,所述位置测量单元通过共聚焦显微测量法或差动共焦测量法获得待测物的位置信息;所述角度测量单元将所述角度测量光束降维至一维光谱数据后传输至所述数据处理组件;所述数据处理组件根据所述一维光谱数据获得所述待测物表面的倾斜角度,并结合所述位置测量单元获取的待测物表面的位置信息,同时获取所述待测物的面型信息和表面倾角信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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