恭喜江苏微导纳米科技股份有限公司张鹤获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种改善等离子体处理均匀性的方法及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115458629B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211108914.0，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种改善等离子体处理均匀性的方法及其应用是由张鹤;廖宝臣;李翔;黎微明设计研发完成，并于2022-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善等离子体处理均匀性的方法及其应用在说明书摘要公布了：本申请提供了一种改善等离子体处理均匀性的方法、太阳电池制备工艺和太阳电池，所述改善等离子体处理均匀性的方法，在等离子体处理工艺中采用含氢气体作为辅助气体。本发明提供的改善等离子体处理均匀性的方法可以提高等离子体处理的均匀性，在氧化铝镀膜工艺中掺入含氢气体，可以显著改善氧化铝的镀膜厚度均匀性，扩大了工艺参数窗口，保持氧化铝高水平钝化特性，以适用于器件应用，应用在电池制备过程中可以有效保证电池转换效率。
本发明授权一种改善等离子体处理均匀性的方法及其应用在权利要求书中公布了：1.一种改善等离子体处理均匀性的方法，其特征在于，在等离子体处理工艺形成氧化铝镀膜中采用含氢气体作为辅助气体；氢元素直接在反应腔室内进行激发。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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