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龙图腾网恭喜FEI公司申请的专利用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115881499B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211197555.0，技术领域涉及：H01J37/145；该发明授权用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块是由A·穆罕默德-盖达里;P·C·蒂梅耶;A·亨斯特拉;T·拉德里卡设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块在说明书摘要公布了：用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块。根据本公开的一种用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块包含：结构，所述结构定位在电子源的下游；以及电子透镜组合件，所述电子透镜组合件定位在所述结构与所述电子源之间。所述结构产生减速电场，并且被定位成防止电子沿着所述电子透镜组合件的光轴穿过。所述电子光学模块进一步包含微透镜，所述微透镜不定位在所述电子透镜组合件的所述光轴上并且被配置成向离轴电子束施加透镜效应。由所述微透镜和所述电子透镜组合件施加到所述离轴电子束的像差组合，使得所述离轴束的彗差在下游平面中具有期望值。

本发明授权用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块在权利要求书中公布了：1.一种用于提供具有可调谐彗差的离轴电子束的电子光学模块，所述电子光学模块包括：电子透镜组合件，所述电子透镜组合件当在带电粒子系统中使用时定位在电子源的下游，所述电子透镜组合件被配置成产生可调谐透镜效应；结构，所述结构当在带电粒子系统中使用时定位在所述电子透镜组合件的下游，所述结构被配置成在所述电子透镜组合件与所述结构之间产生减速电场；以及微透镜，所述微透镜不定位在所述电子透镜组合件的光轴上，并且其被配置成向不沿着所述电子透镜组合件的所述光轴行进的离轴电子束施加透镜效应，其中由所述微透镜施加到所述离轴电子束的第一像差与由所述电子透镜组合件施加的第二像差组合，使得所述离轴电子束的彗差在所述电子光学模块的下游的平面中具有期望值，并且其中所述电子透镜组合件进一步对所述离轴电子束的球面像差Cs有负贡献。

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