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龙图腾网恭喜新毅东(北京)科技有限公司申请的专利一种半导体加工设备及工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626962B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510157157.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种半导体加工设备及工作方法是由张琪;符友银;朱凯设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体加工设备及工作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工技术领域，公开一种半导体加工设备及工作方法。其中第一驱动组件用于驱动第二驱动组件沿第二方向在第一工位和中部工位之间移动；第一驱动组件用于驱动第三驱动组件沿第二方向在中部工位和第二工位之间移动，第一工位、中部工位和第二工位沿第二方向依次间隔设置；第二驱动组件用于驱动一个工件台沿第一方向在第三工位和第四工位之间移动；第三驱动组件用于驱动另一个工件台沿第一方向在第五工位和第六工位之间移动；位于第一工位和第三工位的工件台以及位于第二工位和第五工位的工件台能够与外部机构相互交接晶圆；位于中部工位和第四工位的工件台以及位于中部工位和第六工位的工件台能够加工晶圆。

本发明授权一种半导体加工设备及工作方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工设备，其特征在于，包括：加工台（3），其包括第一驱动组件（31）、第二驱动组件（32）、第三驱动组件（33）和两个工件台，所述第一驱动组件（31）用于驱动所述第二驱动组件（32）沿第二方向在第一工位和中部工位之间移动；所述第一驱动组件（31）用于驱动所述第三驱动组件（33）沿所述第二方向在所述中部工位和第二工位之间移动，所述第一工位、所述中部工位和所述第二工位沿所述第二方向依次间隔设置；所述第二驱动组件（32）用于驱动一个所述工件台沿第一方向在第三工位和第四工位之间移动；所述第三驱动组件（33）用于驱动另一个所述工件台沿所述第一方向在第五工位和第六工位之间移动；位于所述第一工位和所述第三工位的所述工件台以及位于所述第二工位和所述第五工位的所述工件台能够与外部机构相互交接晶圆；位于所述中部工位和所述第四工位的所述工件台以及位于所述中部工位和所述第六工位的所述工件台能够加工所述晶圆；所述外部机构包括两个预对准设备，所述预对准设备用于将所述晶圆预对准，两个所述预对准设备分别位于所述第一工位和所述第二工位沿所述第一方向的一侧，两个所述预对准设备能够分别与两个所述工件台相互交接所述晶圆；所述预对准设备包括预对准仪（2）和晶圆运输机构（1），所述工件台的晶圆曝光承接位设置有若干个能够升降的定位柱，所述定位柱适于承接所述晶圆；所述预对准仪（2）包括晶圆预对准位和缓存工位，且所述缓存工位位于所述晶圆预对准位的上方，所述晶圆预对准位用于对所述晶圆进行预对准，所述缓存工位用于暂存所述晶圆；所述晶圆运输机构（1）用于所述晶圆预对准位和所述工件台之间以及所述缓存工位和所述工件台之间相互交接所述晶圆。

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