恭喜华芯程(杭州)科技有限公司舒中力获国家专利权
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龙图腾网恭喜华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利光学临近修正优化方法、装置、存储介质及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119668019B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510201124.4,技术领域涉及:G03F1/36;该发明授权光学临近修正优化方法、装置、存储介质及电子设备是由舒中力设计研发完成,并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学临近修正优化方法、装置、存储介质及电子设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种光学临近修正优化方法、装置、存储介质及电子设备,其中,该光学临近修正优化方法包括对原始版图进行分析,以确定原始版图中的待优化区域;将待优化区域中修正图层与目标图层之间的距离定义为修正变量;将所有修正变量的边缘位置误差的均方根误差定义为目标评价函数;基于目标评价函数,采用退火算法对所有修正变量进行优化,以得到目标修正变量组合;利用目标修正变量组合对原始版图进行修正,得到目标版图。本方案避免由于修正变量相互影响而产生的缺陷图形。
本发明授权光学临近修正优化方法、装置、存储介质及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种光学临近修正优化方法,其特征在于,包括:对原始版图进行分析,以确定所述原始版图中的待优化区域;将所述待优化区域中修正图层与目标图层之间的距离定义为修正变量;将所有所述修正变量的边缘位置误差的均方根误差定义为目标评价函数;基于所述目标评价函数,采用退火算法对所有所述修正变量进行优化,以得到目标修正变量组合,包括:将所有所述修正变量的初始值设置为0;在所述修正变量的预设取值范围内随机生成当前修正变量组合,并计算所述当前修正变量组合的当前评价函数;将所述当前评价函数与所述目标评价函数比较,并根据比较结果确定是否对所述目标评价函数进行更新;返回执行在所述修正变量的预设取值范围内随机生成当前修正变量组合的步骤,直至所有所述修正变量的边缘位置误差小于预设阈值为止,并将当前修正变量组合作为目标修正变量组合;利用所述目标修正变量组合对所述原始版图进行修正,得到目标版图。
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