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龙图腾网恭喜深圳市立可自动化设备有限公司申请的专利批量芯片的自动化除尘方法、设备、除尘检测机及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119725138B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510231355.X，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权批量芯片的自动化除尘方法、设备、除尘检测机及介质是由周晓龙;叶昌隆;陈雨杰;史文涛设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本批量芯片的自动化除尘方法、设备、除尘检测机及介质在说明书摘要公布了：本申请涉及自动清洁技术，公开了一种批量芯片的自动化除尘方法、设备、除尘检测机及介质，包括：将清洗后的多个芯片置入除尘检测机的检测区域；控制运动相机对检测区域内的芯片，逐个进行图像拍摄；每拍摄得到同一芯片的所有方位图像，合成芯片图像；每得到一个芯片的芯片图像，则利用图像识别技术，对芯片图像进行污迹检测；若检测到芯片存在污迹，则根据污迹所处的芯片位置，记录污迹坐标，并将污迹坐标与污迹所处的芯片区域、污迹信息进行关联；在对所有芯片完成污迹检测后，生成除尘轨迹；控制机械手沿除尘轨迹，使用除尘棒逐个清除各处芯片污迹。本申请旨在实现高效、精确的批量芯片的自动化除尘。

本发明授权批量芯片的自动化除尘方法、设备、除尘检测机及介质在权利要求书中公布了：1.一种批量芯片的自动化除尘方法，其特征在于，包括：将清洗后的多个芯片置入除尘检测机的检测区域；控制运动相机对检测区域内的芯片，逐个进行图像拍摄；其中，运动相机对各芯片的各方位图像进行逐个拍摄，并在拍摄完同一芯片的所有方位图像后，再对下一个芯片进行图像拍摄；每拍摄得到同一芯片的所有方位图像后，则对同一芯片的所有方位图像进行图像合成，得到同一芯片的芯片图像；每得到一个芯片的芯片图像，则利用图像识别技术，对芯片图像进行污迹检测；若检测到芯片存在污迹，则根据污迹所处的芯片位置，记录污迹坐标，并将污迹坐标与污迹所处的芯片区域、污迹信息进行关联，其中，污迹信息包括面积大小和颜色深浅；以及，控制机械手前往除尘棒放置区夹取除尘棒，并移动至待机位置；在对所有芯片完成污迹检测后，以机械手的待机位置为起点，依次连接所有污迹坐标，并进行最短路径规划，生成除尘轨迹；控制机械手沿除尘轨迹，使用除尘棒逐个清除各处芯片污迹；其中，根据每处污迹所处的芯片区域的受力上限值和污迹信息，调整机械手使用除尘棒擦除污迹时的按压力；所述批量芯片的自动化除尘方法还包括：在污迹面积大于或等于预设面积时，通过机械手控制除尘棒对污迹进行单次擦除的过程中，使除尘棒以第一按压力接触芯片表面后，逐渐加大按压力，并使除尘棒往污迹中心点处滚动，直至除尘棒以第二按压力抵达污迹中心点；其中，第二按压力为芯片区域的受力上限值；控制除尘棒自污迹中心点继续滚动前进的同时，逐渐减小按压力，直至除尘棒以第一按压力脱离污迹区域，以减少除尘棒对芯片表面产生的机械应力；其中，控制除尘棒滚动的过程中，还在预设速度范围内，根据污迹的颜色深浅调节滚动速度；在污迹面积小于预设面积时，通过机械手控制除尘棒以预定速度对污迹区域进行平擦；其中，平擦时使用的按压力小于芯片区域的受力上限值；预定速度根据污迹的颜色深浅设定。

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