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龙图腾网恭喜艾庞半导体科技(四川)有限公司申请的专利一种半导体器件加工用定位固定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119764237B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510245556.5，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种半导体器件加工用定位固定装置是由周磊;丁媛;侯斌;周富设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体器件加工用定位固定装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件技术领域，具体为一种半导体器件加工用定位固定装置，包括作业箱、转动筒和固定机构。本发明中先通过三个定位弧板对晶圆进行小面积的接触定位、之后再通过所有固定弧板对晶圆进行大面积的夹持固定，先通过局部接触实现对晶圆的精确对中和定位，能够更精细的调整晶圆位置，并减少了因过度夹持而导致的晶圆损伤或变形风险，之后的大面积接触夹持有助于将夹持力均分至晶圆周向边缘，其次，经过局部接触定位后，减少在夹持固定过程中因晶圆初始位置偏离导致的局部应力过大的问题，最后通过吸附单元进行吸附固定，综上，提高了对晶圆位置调节的精确程度以及晶圆加工过程中的稳定性。

本发明授权一种半导体器件加工用定位固定装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体器件加工用定位固定装置，其特征在于，包括：作业箱，所述作业箱的上端呈开口设置，作业箱的上端设置用于封堵作业箱开口的封门，作业箱内腔底壁上转动贯穿有轴线竖直的转动筒，转动筒上固定套设有位于作业箱内的圆形板，转动筒和圆形板上共同设置有固定机构；所述固定机构包括定位弧板，所述圆形板上方设置有三组周向均匀分布的定位组件，定位组件包括定位弧板和两个位于定位弧板两侧的固定弧板，定位弧板和固定弧板的内弧面均朝向转动筒轴线，圆形板和转动筒上共同设置有驱动单元，驱动单元工作使得三个定位弧板相互靠近并对晶圆进行定心作业，所有固定弧板再夹持晶圆并形成整周圆环，形成第一级固定，同一定位组件内的两个固定弧板下端面共同固定设置有承托板；所述固定机构还包括用于吸附固定晶圆的吸附单元，所述吸附单元包括吸附台，所述转动筒的上端面固定设置有内部为空腔的吸附台，吸附台与转动筒内腔连通，作业箱内腔底壁固定设置有气泵，气泵工作使得吸附台吸附经过定心后的晶圆，形成第二级固定；所述圆形板上固定设置有与定位组件一一对应的T形架；所述驱动单元包括L形架，所述T形架上滑动设置有L形架，且L形架的水平段贯穿对应T形架且与对应滑动架的滑动方向相同，定位弧板固定设置于L形架朝向转动筒的端面上，转动筒上套设有上下滑动且位于圆形板和作业箱底部之间的三角板，三角板与三个L形架的竖直段之间均共同铰接设置有铰接条，三角板的下端面转动设置有固定圆板，转动筒贯穿固定圆板，固定圆板与作业箱底部之间共同设置有电动推杆。

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