买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜华中科技大学申请的专利一种极紫外光源中液滴靶空间位置的监控系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115047720B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210515969.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种极紫外光源中液滴靶空间位置的监控系统及方法是由孙秦;王新兵;左都罗设计研发完成，并于2022-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种极紫外光源中液滴靶空间位置的监控系统及方法在说明书摘要公布了：本发明属于极紫外光源技术领域，尤其涉及一种极紫外光源中液滴靶空间位置的监控系统及方法，利用单个CCD对XOZ平面和YOZ平面上的液滴同时成像，实现液滴锡靶空间位置的实时监控。并在此基础上，发展了手动控制和自动控制两种反馈调控方式对液滴发生器的空间位置进行反馈调节，使液滴的运动路径始终经过激光焦点。本发明可以基于CCD拍摄的液滴射流图片对极紫外光刻机光源中液滴靶空间位置进行实时反馈调节，具有结构简单，精度高，易于实施的优点，并且能够有效修正目标液滴路径相对激光焦点的偏移，有利于提高LPP辐射的EUV光产生效率。

本发明授权一种极紫外光源中液滴靶空间位置的监控系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种极紫外光源中液滴靶空间位置的监控方法，其特征在于，所述极紫外光源中液滴靶空间位置的监控方法包括：利用单个CCD对XOZ平面和YOZ平面上的液滴同时成像，实现液滴锡靶空间位置的实时监控，并利用手动控制和自动控制的反馈调控方式对液滴发生器的空间位置进行反馈调节，使液滴的运动路径始终经过激光焦点；当液滴射流发生偏移时，CCD拍摄的液滴射流图像会具有不同的特征，判断标准为：在照片上x轴与y轴的正方向均指向图片左侧，而液滴喷射方向是从上至下的，由此可以判断出液滴的偏移方位；控制二维电控位移台在XOY平面内运动，直至CCD上观察到液滴射流的像重合并过激光焦点，此时液滴发生器喷嘴的位置偏差被修正；获得平面上液滴射流与z轴的夹角β，计算机输出参数β至二维电控旋转台，使液滴发生器在YOZ平面上绕喷嘴中心旋转β角度，使液滴射流在YOZ平面的投影过激光焦点。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华中科技大学，其通讯地址为：430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。