恭喜南京邮电大学成建兵获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京邮电大学申请的专利一种具有寄生SCR的双Fin ESD防护器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115101520B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210522548.7,技术领域涉及:H10D89/60;该发明授权一种具有寄生SCR的双Fin ESD防护器件是由成建兵;周嘉诚;刘立强;张效俊;孙旸设计研发完成,并于2022-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有寄生SCR的双Fin ESD防护器件在说明书摘要公布了:本发明公开了一种具有寄生SCR的双FinESD防护器件,包括一个单FinPNP晶体管、一个单FinNPN晶体管、第三场氧隔离区、第四场氧隔离区、第五场氧隔离区、第六场氧隔离区、第一阳极金属电极、第二阳极金属电极、第一阴极金属电极、第二阴极金属电极。第一阳极金属电极设置于第一N型重掺杂区上方,第二阳极金属电极设置于第一P型重掺杂区上方,第一阴极金属电极设置于第二N型重掺杂区上方,第二阴极金属电极设置于第二P型重掺杂区上方。单FinPNP晶体管和单FinNPN晶体管沿Y轴方向上并排放置,组合成寄生SCR结构。本发明可有效提高小尺寸器件的鲁棒性,确保器件能够在ESD来临时迅速高效开启。
本发明授权一种具有寄生SCR的双Fin ESD防护器件在权利要求书中公布了:1.一种具有寄生SCR的双FinESD防护器件,其特征在于,包括一个单FinPNP晶体管、一个单FinNPN晶体管、第三场氧隔离区09、第四场氧隔离区10、第五场氧隔离区11、第六场氧隔离区12、第一阳极金属电极13、第二阳极金属电极14、第一阴极金属电极15、第二阴极金属电极16;所述的第三场氧隔离区09设置于单FinNPN晶体管右侧的P型衬底01和N型阱区02上方,所述的第四场氧隔离区10和第五场氧隔离区11依次设置于单FinNPN晶体管和单FinPNP晶体管之间的P型衬底01和N型阱区02上方,所述的第六场氧隔离区12设置于单FinPNP晶体管左侧的P型衬底01和N型阱区02上方;所述的第一阳极金属电极13设置于第一N型重掺杂区03上方,所述的第二阳极金属电极14设置于第一P型重掺杂区05上方,所述的第一阴极金属电极15设置于第二N型重掺杂区04上方,所述的第二阴极金属电极16设置于第二P型重掺杂区06上方;所述的单FinPNP晶体管和单FinNPN晶体管沿Y轴方向上依次并排放置,组合形成寄生的SCR结构;所述的第一阳极金属电极13和第二阳极金属电极14相并联,第一阴极金属电极15、第二阴极金属电极16相并联,构成ESD泄放时的金属互连。
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