恭喜上海埃延半导体有限公司丁欣获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海埃延半导体有限公司申请的专利一种碳材料加热器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114845426B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210644432.0，技术领域涉及：H05B3/14；该发明授权一种碳材料加热器是由丁欣设计研发完成，并于2022-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳材料加热器在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件技术领域，提出一种碳材料加热器，包括：碳材料柔性基底，其在电流方向上的电阻率被配置为恒定，因此可以较好地满足化学气相沉积反应器或者快速热退火反应器中的均质加热需求，具有较好的实用性。
本发明授权一种碳材料加热器在权利要求书中公布了：1.一种碳材料加热器，其特征在于，包括：碳材料柔性基底，其在电流方向上的电阻率被配置为恒定，其中所述碳材料加热器被构造为圆环形碳材料加热器，所述圆环形碳材料加热器具有多个同心环形分区，其中每一个所述环形分区为发卡波纹形加热器，其中所述发卡波纹形加热器包括从圆心向外凸出的外齿和朝向圆心凸出的内齿，所述外齿具有至少两种尺寸，所述内齿具有至少两种尺寸，对于相邻的环形分区，一部分齿深入了相邻区，另一部分齿只在本区内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海埃延半导体有限公司，其通讯地址为：200131 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区新杨公路1588号4幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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