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龙图腾网恭喜沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种适用于并联管路的控制系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119565870B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510138489.7，技术领域涉及：B05C11/10；该发明授权一种适用于并联管路的控制系统及方法是由郭东;张怀东;程超;王雨婷设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于并联管路的控制系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种适用于并联管路的控制系统及方法，涉及管路输送技术领域，包括：主管路，主管路的一端与流体源装置相连通，另一端分支出多条支路；多个流体控制装置，每个流体控制装置设置于相应的支路上，流体控制装置包括依次连通的第一通断部、暂存腔和第二通断部，第一通断部用以控制支路上游的流体的通断，暂存腔内设置有调整部，调整部用于调整所述暂存腔的内部容积，第二通断部用以控制暂存腔内的流体的通断；控制器，用于控制第一通断部、调整部和第二通断部的动作。本发明能减轻传统半导体胶泵用于并联管路时产生流体流量突变，提高吐出量精度，使并联管路中的各条管路的吐出量精度均能满足实际要求，并且降低了设备的成本。

本发明授权一种适用于并联管路的控制系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种适用于并联管路的控制系统，其特征在于，包括：流体源装置；主管路，所述主管路的一端与所述流体源装置相连通，另一端分支出若干互不干扰的支路；多个流体控制装置，分别设置于若干所述支路上，所述流体控制装置包括依次能够连通的第一通断部、暂存腔和第二通断部，所述第一通断部用以控制所述支路上游的流体的通断，所述暂存腔内设置有调整部，所述调整部用于调整所述暂存腔的内部容积，所述第二通断部用以控制所述暂存腔内的流体的通断；控制器，所述控制器分别与所述第一通断部、所述调整部和所述第二通断部连接，用于控制所述第一通断部、所述调整部和所述第二通断部的动作；所述流体控制装置还包括第三通断部和循环部，所述第三通断部用于控制所述暂存腔与所述循环部之间的通断；所述循环部的一端与所述第三通断部连接，另一端与所述主管路的上游连接；所述流体控制装置包括第一状态和第二状态，若所述流体控制装置处于所述第一状态下，控制器控制所述流体控制装置执行第一动作，以使流体装填至所述流体控制装置的暂存腔；若所述流体控制装置处于所述第二状态下，控制器控制所述流体控制装置执行第二动作，以使所述暂存腔内的所述流体排出，和所述支路下游的所述流体回吸至所述暂存腔；所述暂存腔内的流体经过所述第二通断部从支路下游流出后，所述控制器控制所述暂存腔的内部容积增大，以使所述支路下游的流体回吸至所述暂存腔内。

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