恭喜ASMIP私人控股有限公司A.伊利贝里获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASMIP私人控股有限公司申请的专利氧化硅在金属表面上的选择性沉积获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113463067B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110323241.X，技术领域涉及：C23C16/40；该发明授权氧化硅在金属表面上的选择性沉积是由A.伊利贝里;G.A.弗尼;邓少任;D.恰佩;E.托伊斯;M.托米宁;M.吉文斯设计研发完成，并于2021-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本氧化硅在金属表面上的选择性沉积在说明书摘要公布了：提供了用于相对于介电表面在金属或金属性表面上选择性沉积氧化硅膜的方法。可相对于金属或金属性表面选择性地钝化衬底的介电表面，如通过将衬底暴露于甲硅烷基化剂。然后，通过使金属表面与金属催化剂和包含硅烷醇的硅前体接触来相对于经钝化的氧化物表面选择性地在金属或金属性表面上沉积氧化硅。
本发明授权氧化硅在金属表面上的选择性沉积在权利要求书中公布了：1.一种相对于衬底的介电表面选择性地在所述衬底的金属表面上沉积氧化硅的方法，所述方法按次序包括：使所述衬底与钝化剂接触，其中所述钝化剂是甲硅烷基化剂；使所述衬底与金属催化剂接触；以及使所述衬底与包含硅烷醇的硅反应物接触，其中所述金属催化剂配置成催化由硅烷醇反应物形成氧化硅的反应。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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