恭喜应用材料公司G·付获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利射频接地系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115917040B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180039961.1，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权射频接地系统和方法是由G·付;T·A·恩古耶;A·K·班塞尔设计研发完成，并于2021-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本射频接地系统和方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种装置，包括腔室主体及盖，在其中界定容积。装置包括基板支撑件，布置于容积中与盖相对。基板支撑件包括支撑主体，布置于主干上；及接地板，布置于支撑主体与主干之间。顶部凸缘耦合至接地板的下部外周表面；且底部凸缘耦合至腔室主体的底部。底部凸缘及顶部凸缘以利用多个条带彼此耦合，条带的各者具有耦合至底部凸缘的第一端及耦合至顶部凸缘的第二端。
本发明授权射频接地系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种装置，包含：腔室主体及盖，在其中界定容积；基板支撑件，布置于所述容积中与所述盖相对，所述基板支撑件包含：支撑主体，布置于主干上，所述支撑主体配置为耦合至射频源，所述射频源通过所述主干馈送；接地板，耦合至接地并布置于所述支撑主体与所述主干之间；和绝缘板，布置于所述支撑主体与所述接地板之间，所述绝缘板至少部分地在所述支撑主体与所述接地板之间提供电绝缘；圆形顶部凸缘，耦合至所述接地板的下部外周表面，其中所述圆形顶部凸缘包括中心开口，所述中心开口布置为穿过所述圆形顶部凸缘，用于提供对射频供给馈通的访问；圆形底部凸缘，耦合至所述腔室主体的底部；及多个条带，所述条带的各者包含耦合至所述圆形底部凸缘的第一端及耦合至所述圆形顶部凸缘的第二端，所述多个条带提供从所述腔室主体的所述底部到连接于接地的所述接地板的射频路径。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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