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龙图腾网恭喜佳能株式会社申请的专利输送设备、基板处理设备以及制造制品的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113937042B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110709764.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权输送设备、基板处理设备以及制造制品的方法是由牛久健太郎设计研发完成，并于2021-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本输送设备、基板处理设备以及制造制品的方法在说明书摘要公布了：提供了一种用于输送基板卡盘的输送设备。设备包括手，其用于支撑基板卡盘；主体，其用于绕竖直轴线枢转地支撑所述手并且在水平方向和竖直方向上移动；以及引导部分，其用于引导所述手的枢转运动。所述手包括由主体支撑的手远端部分和手近端部分，并且手近端部分的面对主体的端面形成为以手远端部分之间的基准位置的竖直轴线为中心的圆的圆弧形状，并且引导部分包括引导表面，所述引导表面具有与手近端部分的端面对应的形状并且能与所述端面可滑动地接触。还提供了基板处理设备以及制造制品的方法。

本发明授权输送设备、基板处理设备以及制造制品的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于输送基板卡盘的输送设备，所述输送设备包括：手，其被配置为支撑所述基板卡盘；主体，其被配置为绕竖直轴线枢转地支撑所述手并且在水平方向和竖直方向上移动；以及引导部分，其设置在所述主体中并被配置为引导所述手的枢转运动，其中所述引导部分包括平行于所述竖直方向的引导表面，其中所述手包括：多个手远端部分，每个手远端部分包括放置表面，所述基板卡盘将被放置在该放置表面上；以及手近端部分，所述手近端部分由所述主体支撑并被配置为支撑所述多个手远端部分中的每一个手远端部分的基座部分，其中所述手近端部分包括面对所述引导表面的端面，其中所述端面形成为以所述多个手远端部分之间的基准位置的竖直轴线为中心的圆的圆弧形状，其中所述竖直轴线对应于由所述手支撑的基板卡盘的中心轴线并且所述圆弧形状允许由所述手支撑的基板卡盘能够围绕所述竖直轴线旋转，并且其中所述引导表面具有与所述手近端部分的所述端面对应的形状并且被配置成与所述端面可滑动地接触。

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