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龙图腾网恭喜天虹科技股份有限公司申请的专利用以感测遮蔽机构开合的薄膜沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115896732B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111164198.3，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权用以感测遮蔽机构开合的薄膜沉积设备是由林俊成;沈祐德设计研发完成，并于2021-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本用以感测遮蔽机构开合的薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种用以感测遮蔽机构开合的薄膜沉积设备，主要包括一反应腔体、一承载盘、一遮蔽机构及两个距离感测单元，其中承载盘及部分的遮蔽机构位于反应腔体的容置空间内。遮蔽机构包括两个遮蔽单元及至少一驱动装置，其中驱动装置连接并驱动两个遮蔽单元朝相反方向摆动，使得两个遮蔽单元操作在开启状态及遮蔽状态。两个遮蔽单元上皆设置一反射面，当遮蔽单元操作在遮蔽状态时，两个距离感测单元产生的感测光束分别投射在两个遮蔽单元的反射面，并量测两个遮蔽单元与距离感测单元的距离，以确定遮蔽机构操作在遮蔽状态。

本发明授权用以感测遮蔽机构开合的薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种用以感测遮蔽机构开合的薄膜沉积设备，其特征在于，包括：一反应腔体，包括一容置空间；一承载盘，位于该容置空间内，并用以承载至少一基板；及一遮蔽机构，包括：一第一遮蔽单元，位于该容置空间内，并包括一第一反射面；一第二遮蔽单元，位于该容置空间内，并包括一第二反射面；至少一驱动装置，连接该第一遮蔽单元及该第二遮蔽单元，并分别驱动该第一遮蔽单元及该第二遮蔽单元朝相反的方向摆动，使得该第一遮蔽单元及该第二遮蔽单元在一开启状态及一遮蔽状态之间切换，其中该遮蔽状态的该第一遮蔽单元靠近该第二遮蔽单元，而该开启状态的该第一遮蔽单元及该第二遮蔽单元之间则形成一间隔空间，其中该驱动装置包括一轴封装置及至少一驱动马达，该轴封装置包括一外管体及一轴体，该外管体包括一空间用以容置该轴体，该驱动马达通过该外管体连接该第一遮蔽单元，通过该轴体连接该第二遮蔽单元，并同步驱动该轴体及该外管体朝相反的方向转动；一第一距离感测单元，设置在该反应腔体上，并用以将一第一感测光束投射至该第一遮蔽单元的该第一反射面，以确认该第一遮蔽单元操作在该遮蔽状态；及一第二距离感测单元，设置在该反应腔体上，并用以将一第二感测光束投射至该第二遮蔽单元的该第二反射面，以确定该第二遮蔽单元操作在该遮蔽状态；两个感测区，连接该反应腔体，该感测区凸出该反应腔体，且该两个感测区的高度小于该反应腔体；两个遮蔽板感测单元，分别设置在该两个感测区，并分别用以感测进入该两个感测区的该第一遮蔽单元及该第二遮蔽单元，以确定该第一遮蔽单元及该第二遮蔽单元操作在该开启状态。

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