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龙图腾网恭喜中美矽晶制品股份有限公司申请的专利硅氧化物的制备装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115364509B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210124601.8，技术领域涉及：B01D7/02；该发明授权硅氧化物的制备装置是由林煌伟;杨瑜民;许松林设计研发完成，并于2022-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅氧化物的制备装置在说明书摘要公布了：一种硅氧化物的制备装置，包括一加热炉、一加热装置、一坩埚、一析出盒、一排气管道,及一抽气装置，所述加热炉内部具有由一隔热材料围设形成的一加热炉腔；所述加热装置、所述坩埚及所述析出盒设置于所述加热炉腔中；所述析出盒具有一入气口及一出气口，所述析出盒包含至少一个隔板并设置于所述析出盒的内部空间中，所述至少一个隔板与所述析出盒内壁形成至少一个通道，所述至少一个通道分别连通所述入气口及所述出气口；所述排气管道具有一第一端及一第二端，所述第一端设置于邻近所述坩埚的上开口的位置，所述第二端与所述析出盒的所述入气口连通；所述抽气装置与所述析出盒的所述出气口连通。

本发明授权硅氧化物的制备装置在权利要求书中公布了：1.一种硅氧化物的制备装置，包含：一加热炉，内部具有由一隔热材料围设形成的一加热炉腔；一加热装置，设置于所述加热炉腔中；一坩埚，设置于所述加热炉腔中，用以容置一固态原料，所述固态原料包括二氧化硅及硅，所述加热装置对所述坩埚加热使所述固态原料形成一气态硅氧化物；所述坩埚具有一上开口；一析出盒，设置于所述加热炉腔与所述加热炉的内炉壁之间，所述析出盒具有一入气口及一出气口，所述析出盒包含至少一个隔板并设置于所述析出盒的内部空间中，所述至少一个隔板与所述析出盒的内壁形成至少一个通道，所述至少一个通道分别连通所述入气口及所述出气口；一排气管道，具有一第一端及一第二端，所述第一端设置于邻近所述坩埚的所述上开口的位置，所述第二端与所述析出盒的所述入气口连通；以及一抽气装置，与所述析出盒的所述出气口连通；所述抽气装置将所述气态硅氧化物抽离所述坩埚，以使所述气态硅氧化物与所述析出盒的内壁及所述至少一个隔板的表面接触以析出一固态的硅氧化物；其中，所述至少一个隔板包含至少一个横向隔板，所述至少一个横向隔板是横向设置于所述析出盒的内部空间中，并且与所述入气口及所述出气口之间的一轴线相交；其中，所述至少一个隔板的数量为多个，多个所述隔板包含至少一个纵向隔板，所述至少一个纵向隔板是纵向设置于所述析出盒的内部空间中，且所述至少一个纵向隔板与所述至少一个横向隔板连接。

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