恭喜北京北方华创微电子装备有限公司于斌获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114743917B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210418067.1，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权半导体工艺设备是由于斌设计研发完成，并于2022-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体工艺设备，包括工艺腔室和设置在工艺腔室中的静电卡盘，静电卡盘的承载面上设置有多个凸点，用于支撑晶圆；该设备还包括电荷消除装置和接地的取片部件；其中，电荷消除装置包括弹性导电部件，弹性导电部件在被放置于多个凸点上且在静电卡盘通电时，能够在静电力的作用下产生弹性形变，以与静电卡盘的承载面相接触，以转移承载面上的残余电荷；取片部件用于将弹性导电部件放置在多个凸点上，或将弹性导电部件由多个凸点上取走；取片部件接地设置。本发明提供的半导体工艺设备，能够快速消除静电卡盘承载面上的残余电荷，且不需要对工艺腔室进行开腔。
本发明授权半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，包括工艺腔室和设置在所述工艺腔室中的静电卡盘，所述静电卡盘的承载面上设置有多个凸点，用于支撑晶圆，其特征在于，还包括电荷消除装置和取片部件；其中，所述电荷消除装置包括弹性导电部件，所述弹性导电部件在被放置于多个所述凸点上且在所述静电卡盘通电时，能够在静电力的作用下产生弹性形变，以与所述静电卡盘的承载面相接触，以转移所述承载面上的残余电荷；所述取片部件用于将所述弹性导电部件放置在多个所述凸点上，或将所述弹性导电部件由多个所述凸点上取走；所述取片部件接地设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号