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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利液体参数测量装置和方法、半导体清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115307702B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211132424.4，技术领域涉及：G01F23/28；该发明授权液体参数测量装置和方法、半导体清洗设备是由陈海祥设计研发完成，并于2022-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本液体参数测量装置和方法、半导体清洗设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造领域，提供一种液体参数测量装置和方法、半导体清洗设备，该装置用于检测清洗槽中的液体参数，且包括第一液位传感器、第二液位传感器和处理模块，其中，第一液位传感器的第一探头端位于清洗槽的底部，用于检测第一探头端与液体的液面之间的第一距离，并向处理模块发送；第二液位传感器的第二探头端位于液面上方，用于检测第二探头端所在位置与液面之间的第二距离，并向处理模块发送；处理模块用于根据第二距离以及预先测定的第二探头端与第一探头端之间的第三距离，获得液体的液位真实值；根据液位真实值与第一距离，获得液体的密度真实值。本发明的方案可以提高测量清洗槽中的液体参数的准确度。

本发明授权液体参数测量装置和方法、半导体清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种液体参数测量装置，用于检测半导体清洗设备的清洗槽中的液体参数，其特征在于，包括第一液位传感器、第二液位传感器和处理模块，其中，所述第一液位传感器的第一探头端位于所述清洗槽的底部，用于检测所述第一探头端与液体的液面之间的第一距离，并向所述处理模块发送；所述第一液位传感器为鼓泡型液位传感器，所述鼓泡型液位传感器用于通过检测所述液体在所述第一探头端处的压力值，来获得所述第一距离；所述第二液位传感器的第二探头端位于所述液面上方，用于检测所述第二探头端所在位置与所述液面之间的第二距离，并向所述处理模块发送；所述处理模块用于根据所述第二距离以及预先测定的所述第二探头端与所述第一探头端之间的第三距离，获得所述液体的液位真实值；根据所述液位真实值与所述第一距离，获得所述液体的密度真实值；所述第二液位传感器为导向脉冲式液位传感器，所述导向脉冲式液位传感器具有导向探针，所述导向探针的远离所述第二探头端的一端低于所述第一液位传感器的所述第一探头端；所述第三距离、所述第二距离和所述液位真实值满足下述关系式：h2=L-L1其中，h2为所述液体的液位真实值；L为所述第三距离；L1为所述第二距离；所述液位真实值、所述第一距离和所述密度真实值满足以下关系式： 其中，为所述液体的密度真实值；为预设的标定液体的密度值；h1为所述第一距离；h2为所述液体的液位真实值。

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