恭喜陕西科技大学韩斌获国家专利权
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龙图腾网恭喜陕西科技大学申请的专利一种透明掩模板及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115497812B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211301150.7，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权一种透明掩模板及其制备方法和应用是由韩斌;王光辉;马淑芳;许并社;穆涵香;刘博;王豆;胡雨设计研发完成，并于2022-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种透明掩模板及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明属于半导体器件技术领域，具体涉及一种透明掩模板及其制备方法和应用，包括以下步骤：S1、在铜胶带和热释放胶带的中心打圆孔，并孔对孔将热释放胶带和铜胶带贴紧，之后在热释放胶带一侧贴PET胶带，制得待加工样品；S2、采用磁控溅射在S1待加工样品中的PET胶带表面镀导电金属薄膜；S3、采用聚焦离子束对圆孔中心掩模区域的PET胶带进行粗加工至PET胶带切透，得到预设掩模图案的孔，再调整束流对孔进行细加工，得到PET掩模板；S4、腐蚀掉PET掩模板中的导电金属薄膜，即制得透明掩模板；本发明制备周期极短，方法简单，掩模板能多次重复使用，而且透明掩模板对后续的掩模板转移对齐从而制备半导体器件十分便利。
本发明授权一种透明掩模板及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种透明掩模板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、分别在铜胶带和热释放胶带的中心打圆孔，并孔对孔将热释放胶带和铜胶带贴紧，之后在热释放胶带一侧贴一层PET胶带，制得待加工样品；S2、采用磁控溅射工艺在S1待加工样品中的PET胶带表面镀一层导电金属薄膜；S3、将S2处理后的样品置于聚焦离子束中，先绘制掩模图案，之后对圆孔中心掩模区域的PET胶带进行粗加工至PET胶带切透，得到预设掩模图案的孔，再调整束流对孔进行细加工，即得到PET掩模板；S4、腐蚀掉PET掩模板中的导电金属薄膜，即制得透明掩模板。
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