恭喜哈尔滨工业大学王浪平获国家专利权
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龙图腾网恭喜哈尔滨工业大学申请的专利一种通过等离子体增强化学气相沉积增材技术实现零件表面超光滑的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116377414B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211666152.6，技术领域涉及：C23C16/26；该发明授权一种通过等离子体增强化学气相沉积增材技术实现零件表面超光滑的方法是由王浪平;刘文宇;王小峰设计研发完成，并于2022-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种通过等离子体增强化学气相沉积增材技术实现零件表面超光滑的方法在说明书摘要公布了：一种通过等离子体增强化学气相沉积增材技术实现零件表面超光滑的方法，它涉及一种实现零件表面超光滑的方法。本发明要解决传统减材超光滑方法耗时长，且现有DLC沉积技术未实现粗糙度由纳米级降低至亚纳米级的问题。方法：将待处理的零件放入真空室中并抽真空，然后通入乙炔气体，控制真空室内气压，然后通过射频辉光放电在真空室内部产生乙炔等离子体，设置射频功率，并在待处理的零件上施加脉冲电压，在零件表面进行等离子体增强化学气相沉积得到DLC薄膜。本发明用于通过等离子体增强化学气相沉积增材技术实现零件表面超光滑。
本发明授权一种通过等离子体增强化学气相沉积增材技术实现零件表面超光滑的方法在权利要求书中公布了：1.一种通过等离子体增强化学气相沉积增材技术实现零件表面超光滑的方法，其特征在于它是按以下步骤进行：将待处理的零件放入真空室中并抽真空，然后通入气流流量为10sccm~200sccm的乙炔气体，控制真空室内气压，然后通过射频辉光放电在真空室内部产生乙炔等离子体，设置射频功率为0.1kW~2kW，并在待处理的零件上施加幅值为5kV~10kV、频率为10kHz~100kHz及脉冲宽度为10µs~1000µs的脉冲电压，在零件表面进行等离子体增强化学气相沉积得到DLC薄膜，即得到表面超光滑的零件；所述的待处理的零件为表面粗糙度RMS为1.0nm的导电玻璃；所述的表面超光滑的零件表面粗糙度RMS下降到0.5nm。
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