恭喜南京大学李爱东获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京大学申请的专利一种无机-有机杂化纳孔薄膜阻变存储器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116261394B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310066764.X,技术领域涉及:H10N70/20;该发明授权一种无机-有机杂化纳孔薄膜阻变存储器及其制备方法是由李爱东;孙松;雷锦;刘畅;吴迪设计研发完成,并于2023-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种无机-有机杂化纳孔薄膜阻变存储器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种具有多级存储功能的无机‑有机杂化纳孔薄膜阻变存储器,属于半导体微电子器件领域,本发明的阻变存储器结构从下往上依次为衬底、活性电极、阻变功能层、惰性电极;所述阻变功能层为无机‑有机杂化纳米多孔薄膜材料。本发明利用分子层沉积和原子层沉积技术来制备具有多级存储功能的无机‑有机杂化纳孔薄膜阻变存储器,所采用的分子层沉积和原子层沉积技术能够与微电子工艺兼容、适合大规模集成。
本发明授权一种无机-有机杂化纳孔薄膜阻变存储器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种无机-有机杂化纳孔薄膜阻变存储器,其特征在于,所述的阻变存储器结构从下往上依次包括衬底、活性电极、阻变功能层、惰性电极;所述阻变功能层为无机-有机杂化纳米多孔薄膜材料;所述的无机-有机杂化纳米多孔薄膜的厚度为20~200nm,所述的无机-有机杂化纳米多孔薄膜由以下材料制备:锌基对苯二酚杂化纳米多孔薄膜Zn-HQ或锌基-对苯二酚金属氧化物纳米叠层结构[Zn-HQmMOxn]p其中,m=1-20,n=1-20,p=1-20;所述的对苯二酚为1,4-苯二酚C6H6O2;所述的金属氧化物为氧化锌、氧化铝、氧化铪、氧化钛、氧化锆、氧化硅、氧化钽、氧化钨中的一种。
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