恭喜大连恒坤新材料有限公司毛鸿超获国家专利权
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龙图腾网恭喜大连恒坤新材料有限公司申请的专利一种含第IV族金属元素膜的制备方法及其前体组合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117209545B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311003938.4,技术领域涉及:C07F19/00;该发明授权一种含第IV族金属元素膜的制备方法及其前体组合物是由毛鸿超;董岐;李禾禾;肖楠设计研发完成,并于2023-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种含第IV族金属元素膜的制备方法及其前体组合物在说明书摘要公布了:本发明公开了一种含第IV族金属元素的化合物,所述化合物的化学式表示为:SnCH33CpMNR1R23式I;在所述化学式I中,M为Ti、Zr或Hf,R1、R2各自独立地为C1‑C4直链或支链烷基;本发明还提供了用于形成膜的前体组合物及含第Ⅳ族金属元素膜的制备方法,所述前提组合物包含第Ⅳ族金属元素的化合物;本发明提供的新型含第Ⅳ族金属元素的化合物,在常温下为液体且具有热稳定性,利用其制备含第Ⅳ族金属元素膜,可以显著提高沉积速率。
本发明授权一种含第IV族金属元素膜的制备方法及其前体组合物在权利要求书中公布了:1.一种含第IV族金属元素的化合物,其特征在于,所述化合物的化学式表示为:SnCH33CpMNR1R23式I;在所述化学式I中,M为Ti、Zr或Hf,R1、R2各自独立地为C1-C4直链或支链烷基。
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