恭喜北京北方华创微电子装备有限公司杨延铭获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其工艺腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222896668U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420765999.8，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型半导体工艺设备及其工艺腔室是由杨延铭;茅兴飞;王伟;李岩;姚卫杰;杨纪鹏;廖凤英;程超杰;王英杰设计研发完成，并于2024-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及其工艺腔室在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体工艺设备及其工艺腔室，工艺腔室包括腔室本体、用于加热预设区域的加热组件，以及用于测量预设区域的当前温度的测温组件；腔室本体的侧壁设有与加热组件位置相对应的冷却组件，冷却组件中通入冷却介质，用于降低预设区域的温度。加热组件用于对预设区域进行加热，冷却组件能够降低预设区域的温度，加热组件和冷却组件配合可主动调整腔室本体内的温度场分布，使腔室本体内部的温度场更加均匀，进而使等离子体在腔室本体内分布更加均匀，提高等离子体对晶圆刻蚀的均匀性。
本实用新型半导体工艺设备及其工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种工艺腔室，其特征在于，包括腔室本体、用于加热所述腔室本体的预设区域的加热组件，以及用于测量所述预设区域的当前温度的测温组件；所述腔室本体的侧壁设有与所述加热组件位置相对应的冷却组件，所述冷却组件中通入冷却介质，用于降低所述预设区域的温度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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